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离心式清洗系统 MicroCel 用于电子电路组 件、精密零件和 半导体封装的 清洗。系统的渗 透、溶解和污染 物去除效果极其 出色。 Elec tronic Assembly Equipment 独一无二的清洗技术
离心式清洗系统
MicroCel
用于电子电路组
件、精密零件和
半导体封装的
清洗。系统的渗
透、溶解和污染
物去除效果极其
出色。
Electronic Assembly Equipment
独一无二的清洗技术
MicroCel
MicroCel:
零件在一个密封的工艺容
器内旋转时产生离心能，
这个效果是其他现行技术
难以实现的。
高性能离心式清洗系统
MicroCel 离心式清洗系统为电子电路组件、精密零件、医疗设备、凸起晶圆和其他高级封装，例
如：倒装芯片 MCM、SIP、BGA、CSP 和混合电路提供绝佳的清洗效果。当零件在一个密封的工艺
容器内旋转时产生离心能，配合使用恰当的清洗剂，离心能提供出色的渗透、溶解和污染物去除
效果。
完整的三步骤清洗过程可获得其他技术无法达到的洗涤，漂洗和烘干效果。获得专利的 MicroCel
是电子和半导体封装业内第一个用于清洗的系统。MicroCel 和其他清洗系统相比，没有类同之处，
但其概念、技术和品质经常发现在半导体工艺设备中被应用。
生产能力增强的新特点
MicroCel 系统拥有一个全新完善的操作界面，使其便于使用且更加灵活。MicroCel 可存储和追溯多
达 50 个制程，且编程可调报警可配置，可选装置可通过以太网连接，远程遥控制程。新的图形用
户界面可灵活生成制程和执行 20 个操作步骤。这些步骤包括浸泡洗涤、旋转浸泡，喷琳漂洗、干
燥和冷却，这些步骤可按任意顺序进行，与此配套可调整的参数有旋转 RPM，循环时间，循环数
量等，另外，增强了工艺容器的性能，包括引进液位控制监视和再循环清洗槽防止化学物质分离
的预混合。
特点和优点:
MicroCel
夹具装置
使用通用可调夹具，标准夹具或根据产品定制的夹具，将 MicroCel 系统中清洗的产品固定在头部。标准
夹具适用于较小的电路模块、晶圆、异型封装、Auer
®
boats、magazines、盒带夹具和 JEDEC 托盘。所
有的定制夹具由 Accel 根据每个客户的应用要求而设计，考虑零件尺寸、重量、UPH、惯性、操作舒适
性、流体动力和长期稳固性。当 MicroCel 单元在半自动顺序时，产品置入夹具可以离线。夹具装置在数
秒内由通用连接器安置在头部，启动单个释放装置可以方便地实现内部转换。
性能特点和优点
溶剂多适用性
由于今后溶剂的不确定性，购买一个清洗系统的风险是现实存在的。当清洗方案改变时，昂贵的新设备
也许很快变为陈旧。MicroCel 是目前唯一可应用大多数清洗方案的系统，包括 H
O、皂化、半-水、清
洁剂、酒精基溶剂和萜烯。MicroCel 系统可满足你今天和明天的需求。
绝佳的清洗效果
采用任何测量方法 — 离子的、SIR 或者视觉的 — MicroCel 的清洗效果远胜过其他所有设备。 离子污染
物 0.00 微克/英寸, 表面绝缘阻抗超过 10 欧姆/英寸 且典型清洗结果是对去除的成分放大 45倍以上不
可见残留。
零排放
MicroCel 的零排放系统是一全自动、随机、闭环、全集成的废水处理系统。当使用从水中分离出来的溶
剂时，零排放系统自动将其从使用过的漂洗水中去除。然后将清洗溶剂送回到清洗储存器，以便再次利
用 。使用过的漂洗水经过 4-级净化处理包括微生物控制、 5 微米过滤、碳吸附和混合床去离子树脂重
新回复到原先的纯净度。不需要排水或废水处理系统。
完全烘干
MicroCel 系统采用离心能和加热的流动空气在极短的时间内完全烘干各种产品。其他任何技术都无法达
到 100% 干燥、高效去除污渍的效果。 MicroCel 不需要鼓风机和烘干炉。
紧凑的机身
MicroCel 系统每平方英尺占地面积所提供的性能比其他任何清洗设备更高。所有清洗、漂洗、烘干和产
品准备全部在 18 平方英尺内完成。零排放、完全分离、过滤和所有溶剂和漂洗水的回收全部在一个标
准机柜内完成。
JEDEC 夹具
可调夹具
Magazine 夹具
Auer Boat 夹具
晶圆夹具