JMM709A100_YS12PFYG12F.pdf - 第28页
総目次 はじめ に 1. 各章の内容 1 2. メンテナンス項目一覧 2 第 1 章 メンテナンスについ て 1. マシンの性能を維持するためには 1- 1 1.1 必須条件および環境条件 …………………………………………………… 1-1 1.2 定期的な点検・清掃の重要性 ……………………………………………… 1-1 2. メンテナンス作業の準備 1- 2 2.1 消耗品と交換部品 ( 故障…
xxv
■ラベル貼り付け位置(ATS15)
警告表示ラベル
ATS15 (YS12F, YG12F)
■ 開閉カバー内部
■ ドア開口部
91201-R7-00
総目次
はじめに
1. 各章の内容 1
2. メンテナンス項目一覧 2
第 1 章 メンテナンスについて
1. マシンの性能を維持するためには 1-1
1.1 必須条件および環境条件 …………………………………………………… 1-1
1.2 定期的な点検・清掃の重要性 ……………………………………………… 1-1
2. メンテナンス作業の準備 1-2
2.1 消耗品と交換部品 ( 故障時 )………………………………………………… 1-2
2.1.1 消耗品 ………………………………………………………………………………1-2
2.1.2 交換部品 ( 故障時 ) ………………………………………………………………………1-4
2.2 メンテナンスツール ………………………………………………………… 1-5
2.2.1 クリーニングツール ………………………………………………………………………1-5
2.2.2 給油ツール・グリス ………………………………………………………………………1-7
2.3 必要工具 ……………………………………………………………………… 1-9
第 2 章 日常行っていただきたい項目
作業の前に 2-1
1. ノズル状態の確認 2-2
1.1 ソフトウェアで確認する …………………………………………………… 2-2
1.2 目視で確認する ……………………………………………………………… 2-4
2. フィーダープレートの清掃 2-5
3. カメラ保護ガラスの清掃 2-6
第 3 章 定期的に行っていただきたい項目
1. 毎週 3-1
1.1 ノズルの点検と清掃 ………………………………………………………… 3-1
1.1.1 バフィング部の点検と清掃 ………………………………………………………………3-1
1.1.2 板バネの確認 ………………………………………………………………………………3-3
1.1.3 ノズル先端の清掃 …………………………………………………………………………3-3
1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認 ……………………………………… 3-4
1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 …………………………………………… 3-5
1.3.1 基板クランプ状態の確認 …………………………………………………………………3-5
1.3.2 基板クランプ動作の確認 …………………………………………………………………3-5
2. 毎月または隔月 3-6
2.1 ノズルエア経路の清掃 ( 毎月 )……………………………………………… 3-6
2.2 各軸の点検 ( 毎月 )…………………………………………………………… 3-7
2.3 X,Y,W 軸の清掃・給油 ( 隔月 ) …………………………………………… 3-8
2.3.1 X, Y, W 軸ボールスクリューの清掃・給油 ……………………………………………3-8
2.3.2 X, Y, W 軸リニアガイドの清掃・給油 ……………………………………………… 3-11
2.4 PU( プッシュアップ ) 軸の点検、清掃と給油 ( 隔月）………………… 3-13
2.5 基板搬送ベルトの点検と清掃（隔月）…………………………………… 3-15
3. 3 ヶ月 3-16
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 ………………………………… 3-16
3.1.1 エジェクター真空圧力の点検 ………………………………………………………… 3-17
3.1.2 ブローバルブの動作確認 ( 各ヘッド単体 ) ………………………………………… 3-18
3.1.3 清掃用ブローバルブの動作確認 ( 連動 ) …………………………………………… 3-18
3.2 スプラインシャフト内の清掃・給油 …………………………………… 3-19
3.2.1 スプラインシャフト内の洗浄 ………………………………………………………… 3-19
3.2.2 負圧状態の確認 ………………………………………………………………………… 3-22
3.3 スプラインシャフトの動作確認と給油 ………………………………… 3-23
3.4 SC 軸フレックスケーブルの確認 (YS12P) …………………………… 3-24
3.5 エア / ミストフィルターの点検・清掃 ………………………………… 3-25
3.6 6 角スプラインの清掃・給油…………………………………………… 3-27
4. 6 ヶ月 /1 年 3-28
4.1 フィデューシャルカメラ照明ユニットの清掃 (6 ヶ月 ) ……………… 3-28
4.2 R 軸スプラインベルトの状態確認 (1 年 ) ……………………………… 3-29
4.3 ブローステーションフィルターの清掃と交換 (1 年 )--- オプション… 3-30
4.4 ノズルステーションセンサーの状態確認 (1 年 )--- オプション……… 3-31
4.5 コントローラー用フィルター点検・清掃 (1 年 ) ……………………… 3-32
4.6 マルチカメラ照明 (1 年 )………………………………………………… 3-33
4.7 スキャンカメラ照明 (6 ヶ月 )---YS12P………………………………… 3-34
第 4 章 消耗品の交換方法
1. ノズル板バネの交換 4-1
2. エジェクター部 4-2
2.1 エジェクター BIT の交換 …………………………………………………… 4-2
2.2 ソレノイドコイルの交換 …………………………………………………… 4-3
2.3 清掃用ブローバルブの交換 ………………………………………………… 4-4
3. 基板搬送部の清掃とベルト交換 4-5
4. 給油箇所一覧表 4-7
4.1 X 軸リニアガイドとボールスクリュー …………………………………… 4-7
4.2 Y 軸リニアガイドとボールスクリュー …………………………………… 4-8
4.3 PU 軸ボールガイドとボールスクリュー…………………………………… 4-8