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4.4 コンベア W 軸リニアガイドとボールスクリュー ………………………… 4-9 4.5 ヘッドスプラインシャフト ………………………………………………… 4-9 付 録 1. 仕様 A- 1 1.1 エア圧調整部 ………………………………………………………………… A-1 1.2 電源接続部 …………………………………………………………………… A-2 2. 保証について A- 3
2.2 各軸の点検 ( 毎月 )…………………………………………………………… 3-7
2.3 X,Y,W 軸の清掃・給油 ( 隔月 ) …………………………………………… 3-8
2.3.1 X, Y, W 軸ボールスクリューの清掃・給油 ……………………………………………3-8
2.3.2 X, Y, W 軸リニアガイドの清掃・給油 ……………………………………………… 3-11
2.4 PU( プッシュアップ ) 軸の点検、清掃と給油 ( 隔月）………………… 3-13
2.5 基板搬送ベルトの点検と清掃（隔月）…………………………………… 3-15
3. 3 ヶ月 3-16
3.1 エジェクターフィルターの清掃・交換 ………………………………… 3-16
3.1.1 エジェクター真空圧力の点検 ………………………………………………………… 3-17
3.1.2 ブローバルブの動作確認 ( 各ヘッド単体 ) ………………………………………… 3-18
3.1.3 清掃用ブローバルブの動作確認 ( 連動 ) …………………………………………… 3-18
3.2 スプラインシャフト内の清掃・給油 …………………………………… 3-19
3.2.1 スプラインシャフト内の洗浄 ………………………………………………………… 3-19
3.2.2 負圧状態の確認 ………………………………………………………………………… 3-22
3.3 スプラインシャフトの動作確認と給油 ………………………………… 3-23
3.4 SC 軸フレックスケーブルの確認 (YS12P) …………………………… 3-24
3.5 エア / ミストフィルターの点検・清掃 ………………………………… 3-25
3.6 6 角スプラインの清掃・給油…………………………………………… 3-27
4. 6 ヶ月 /1 年 3-28
4.1 フィデューシャルカメラ照明ユニットの清掃 (6 ヶ月 ) ……………… 3-28
4.2 R 軸スプラインベルトの状態確認 (1 年 ) ……………………………… 3-29
4.3 ブローステーションフィルターの清掃と交換 (1 年 )--- オプション… 3-30
4.4 ノズルステーションセンサーの状態確認 (1 年 )--- オプション……… 3-31
4.5 コントローラー用フィルター点検・清掃 (1 年 ) ……………………… 3-32
4.6 マルチカメラ照明 (1 年 )………………………………………………… 3-33
4.7 スキャンカメラ照明 (6 ヶ月 )---YS12P………………………………… 3-34
第 4 章 消耗品の交換方法
1. ノズル板バネの交換 4-1
2. エジェクター部 4-2
2.1 エジェクター BIT の交換 …………………………………………………… 4-2
2.2 ソレノイドコイルの交換 …………………………………………………… 4-3
2.3 清掃用ブローバルブの交換 ………………………………………………… 4-4
3. 基板搬送部の清掃とベルト交換 4-5
4. 給油箇所一覧表 4-7
4.1 X 軸リニアガイドとボールスクリュー …………………………………… 4-7
4.2 Y 軸リニアガイドとボールスクリュー …………………………………… 4-8
4.3 PU 軸ボールガイドとボールスクリュー…………………………………… 4-8
