JMM709A100_YS12PFYG12F.pdf - 第57页
3-5 3 1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認 1.3.1 基板クランプ状態の確認 基板のクランプ状態に関して下記の項目を確認してください。 1. 基板クランプしたときに、基板にがたつきがないか。 2. 基板クランプしたときに、基板押さえプレートと基 板との間に隙間がないこと。 3. 基板クランプしたときに、コンベアレール上面と基 板とで段差が発生していないこと。 4. 基板クランプユニットの動作がスムーズに動作する こと。 …
3-4
3
1.2 コンベアセンサーの状態 ･ 動作確認
本機ではコンベアセンサーとして透過型ファイバーセンサーを使用しています。
コンベアレール幅を変更してもセンサーが正しく動作するか確認する必要があります。
コンベアセンサーの状態、動作確認
投光
受光
51353-L6-00
1
[ 装置 ] ー「コンベア」タブを開きます。
2
[ コンベア幅 ] ボタンを押してコンベア
幅を変更します。
コンベア幅変更ダイアログが表示されますので、
コンベア幅を入力して [OK] を押してください。
コンベアが指定された幅に変更されます。
3
エラーが発生していないか、確認しま
す。
コンベア幅を変更したときにエラーメッセージが
表示されなければ、コンベアセンサーは正常に動
作していますので、これ以上の操作は必要ありま
せん。
52301-L6-00
■エラーメッセージが表示された場合は、以下の手順に従ってセンサーを調整してください。
・コンベアセンサーの調整方法
コンベア幅を変更したときにエラーが発生した場合は、
コンベアセンサーからの出力状態を確認します。
1. [ 装置 ] ー「I/O」タブを開きます。
2. 出力モニタ (Output) のドロップダウンリストから「コ
ンベア」を選択します。
3. 「コンベアセンサーチューニング」(T01000E) を選択
します。
4. [ON/OFF] ボタンを押して 0 (OFF) → 1 (ON) → 0
(OFF) と切替え、オートチューニングを実行します。
5. 再度 [ コンベア幅 ] ボタンを押してコンベア幅を変更
し、エラーメッセージが表示されなければセンサー
は正常に動作しています。
52302-L6-00
コンベアセンサーの確認
Step 1-3
コンベアセンサーのチューニング
2 3
4
3-5
3
1.3 基板クランプの状態 ･ 動作確認
1.3.1 基板クランプ状態の確認
基板のクランプ状態に関して下記の項目を確認してください。
1. 基板クランプしたときに、基板にがたつきがないか。
2. 基板クランプしたときに、基板押さえプレートと基
板との間に隙間がないこと。
3. 基板クランプしたときに、コンベアレール上面と基
板とで段差が発生していないこと。
4. 基板クランプユニットの動作がスムーズに動作する
こと。
51301-L6-00
1.3.2 基板クランプ動作の確認
1
[ 装置 ] ー「コンベア」タブを開きます。
2
[ コンベア幅 ] ボタンを押して基板幅を
入力します。
コンベア幅変更ダイアログの「変更後のコンベア
幅」の欄に基板幅を入力し [OK] を押してくださ
い。コンベアが指定された幅に移動します。
3
基板厚みを入力します。
[ プッシュアップ ] ボタンを押して基板の厚さを
指定するダイアログを表示させます。「厚さ」の
欄に基板厚みを入力し [OK] を押してください。
4
[ 基板クランプ ] ボタンを押して基板を
クランプします。
5
再度 [ 基板クランプ ] ボタンを押して基
板をアンクランプします。
52309-L6-00
“Step4、5”の基板クランプ、アンクランプを繰り
返し行い、動作が安定しているか確認します。
クランプ状態の確認
基板押さえとの隙間がないこと。
クランプ時、段差が発生しない
ことを確認する。
クランプとアンクランプを
行い、確認する。
動作の確認
Step 2-5
Step2
Step3
Step4, Step5
3-6
3
2.毎月または隔月
ここでは点検後の清掃および給油を中心に行います。
2.1 ノズルエア経路の清掃 ( 毎月 )
e
1
ノズルを取り外します。
非常停止ボタンを押して、ノズルを取り外してく
ださい。作業を安全に行うため、必ずマシンを非
常停止状態にしてください。
c
注意
ノズルステーション ( オプション ) を装備したマシンは、必
ずノズルをステーションに戻してください。
2
エアブローします。
ノズル内部をノズルの両サイドからエアガンで吹
いてください。
51310-L6-10
n
要点
汚れがひどい場合は、下記の Step3、4 を実行してください。
3
ノズル孔を清掃します。
ノズル孔にノズル清掃用ワイヤーを通して清掃し
てください。右図のように指に挟むか専用ハンド
ルを使ってワイヤーを固定してノズルを動かして
清掃します。
51311-L6-00
4
エアブローします。
ノズル清掃用ワイヤーを取り外して、ノズル内部
を Step2 と同様にエアガンで吹いてください。
51312-L6-00
引き続きバフィング部の点検と清掃を行ってくださ
い。( 本章「1.1.1バフィング部の点検と清掃」参照 )
ノズル孔の清掃
Step 3
専用
ハンドル
(オプション)
ノズル ノズル清掃用ワイヤー
エアブロー
Step 4
ノズル
エアガン
(オプション)
エアブロー
Step 2
ノズル先端側を
差し込みブロー
エアチューブ(黒)
エアガン
(オプション)
エアチューブ(オレンジ)
エア供給部へ
ノズル取り付け側
からブロー