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3-27 3 3.6 6 角スプラインの清掃・給油 W 軸コンベアの 6 角スプラインの清掃と給油方法について説明します。給油箇所と給油形態に関しては、第 4 章の「給油箇所一覧表」を参照してください。指定グリス (NSL) を用意してください。 1 6 角スプライン部を清掃します。 1. 手動操作で基板幅を最大に設定し、非常停止 状態にします。 e 2. 6 角スプライン全体をゴミが発生しないペー パーウエス ( クリーンルー…

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3
■フィルターの清掃
1
フィルターカップを取り外します。
前項「フィルターカップの清掃」を参照してくだ
さい。
2
エアフィルターを取り外します。
白い部分をねじって ( 上から見て時計方向に ) フィ
ルターを取り外してください。
51327-L6-00
3
エアフィルターの汚れを清掃します。
エアガンでエアフィルターの汚れを吹き飛ばして
ください。汚れがひどくて除去できない場合は、
エアフィルターを交換してください。
4
エアフィルターを取り付けます。
白い部分をねじってエアフィルターを元どおりに
取り付けてください。
51328-L6-00
5
フィルターカップを取り付けます。
n
要点
上記と同様の手順でミストフィルターの清掃も行ってくだ
さい。
エアフィルターの取り外し
Step 2
緩めて取り外す
エアフィルターの取り付け
Step 4
フィルター

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3
3.6 6 角スプラインの清掃・給油
W 軸コンベアの 6 角スプラインの清掃と給油方法について説明します。給油箇所と給油形態に関しては、第 4
章の「給油箇所一覧表」を参照してください。指定グリス (NSL) を用意してください。
1
6 角スプライン部を清掃します。
1. 手動操作で基板幅を最大に設定し、非常停止
状態にします。
e
2. 6 角スプライン全体をゴミが発生しないペー
パーウエス ( クリーンルーム用 ) などで古い
グリスや汚れを拭き取ります。
3. 非常停止を解除し、基板幅を狭めて残った部
分も拭き取ります。
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2
グリスを塗布します。
手に指定のグリス (NSL) を付けて 6 角スプライン
の表面に均一に塗ってください。
n
要点
Step1 と同様に基板幅を調整して 6 角スプライン全体に塗っ
てください。
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6角スプラインの清掃
Step 1
ウエス
6角スプラインのグリスアップ
Step 2
グリス

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3
4.6 ヶ月 /1 年
4.1 フィデューシャルカメラ照明ユニットの清掃 (6 ヶ月 )
ホコリなどで照明ユニットが汚れる場合がありますので、定期的に清掃することをお勧めします。作業を安全
に行うため、マシンが非常停止状態、あるいはマシンの電源スイッチが OFF になっていることを確認してくだ
さい。
c
注意
清掃時にカメラ各部に強い力を与えないように注意してください。カメラの光軸調整が狂うことがあります。
c
注意
照明等のトラブルや問題が発生した場合には販売代理店もしくはヤマハに連絡してください。お客様での分解清掃は保障の対象
外となります。
■フィデューシャルマーク認識カメラ
フィデューシャルマーク認識カメラはヘッド部に取り付けられています。このカメラの照明ユニットを清掃し
ます。
・ 清掃方法
ゴミの出ないウエスにレンズクリーナーを数滴付けて
照明ユニット下部の拡散板を拭いてください。
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ウエスで拭く
フィデューシャルカメラ照明