N7201A705C - 第154页
NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03O-0 0 3-3-3 -3 16 ACTIVATION 个别 准备 基板支撑销的安装 2 操作手册 3-3-3
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
OFF SERVO ON
3-3-3-2
16
6
7
5
8
14
13
15
ACTIVATION
OFF SERVO ON
4
卸下更换台车
(→P.2-4)
把棉纱布盖到多功
能识别照相机上
将供料器工作台盖
倒向内侧
安装交换台车
(→P.2-4)
顺序
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-3-3
16
ACTIVATION
个别
准备
基板支撑销的安装 2
操作手册
3-3-3
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-3-4