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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03O-00 3-3-4 -2
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-4-1
2
5
1
1
2
4
+
■输入新的基板宽度时
5
6
3
3
4
7
+
7
3
个别
准备
传送带宽度的调整
操作手册
3-3-4
对传送带宽度的调整方法进行说明。
●变更为小基板时，请卸下基板支撑块、支撑销。
●请不要用手转动皮带来改变传送带的宽度。(否则有可能会导致基板检测无法正确进行。)
(选择宽度调整的对象基台以及轨道)
■调整生产数据的基板宽度时
(调整宽度的数值栏，显示生产数据的
基板宽度)
5
顺序
(显示数字键画面)
可以轻触
输入基板宽度
(传送轨道的宽度被调整)
按准备下一步进行操作的按钮
确认提示
(会显示下一个操作画面)
■取消时
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-4-2
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
+
+
+
+
+
+
3-3-5-1
个别
准备
基板的传送确认
操作手册
3-3-5
以到上游工序为止的确认已经结束、上游工序中有基板为前提，对基板的传送确认方法进行说明。
●是双轨模式时，要事前选择轨道。
(确认基板的有无后，使设备转为可搬送的
状态)
(传送到上游基台的传入位置为止)
(传送到第2插件位置)
(传送到第1插件位置)
(传送到下游工作台的传入位置为止)
(传出到下一台设备)
基板的传送位置
显示传送带上的基板位置。
3 4
2 1
5 6
A
7
2
3
5
1
6
7
4
A