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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03O-0 0 + + + + + + 3-3-5 -1 个别 准备 基板的传送确认 操作手册 3-3-5 以到上游工序为止的确认已经结束、 上游工序中有基板为前提，对基 板的传送确认方法进行说明。 ●是双轨模式时，要事前选择轨道。 ( 确认基板的有无后，使设备转为可搬送的 状态 ) ( 传送到上游基台的传入位置为止 ) ( 传送到第 2 插件位置 ) ( 传送到第 1 插件位置 ) (传送到…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-4-2
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
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3-3-5-1
个别
准备
基板的传送确认
操作手册
3-3-5
以到上游工序为止的确认已经结束、上游工序中有基板为前提，对基板的传送确认方法进行说明。
●是双轨模式时，要事前选择轨道。
(确认基板的有无后，使设备转为可搬送的
状态)
(传送到上游基台的传入位置为止)
(传送到第2插件位置)
(传送到第1插件位置)
(传送到下游工作台的传入位置为止)
(传出到下一台设备)
基板的传送位置
显示传送带上的基板位置。
3 4
2 1
5 6
A
7
2
3
5
1
6
7
4
A
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3-3-5-2
B
颜色 传感器的状态
红色
ON
灰色
OFF
*1)
8
9
+
B
装着位置
请按动接下去要进行的准备的操
作按钮
确认提示
(会显示下一个操作画面)
■取消时
传感器
*1) 此传感器，显示支撑单元下降状态时
是否有基板。
基台之间的待机位置
传入位置
本页的操作画面是以左→右流向为例子的。
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