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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03O-00 3-3-7 -3 9 在基板支撑块 ( 自动更换用 ) 上设置支撑销 ( 双轨传送带规格时 ) ● 是单轨传送带规格时请至步骤 。 ● 设置支撑销时，必需设置在基准位置。 ( 可能与传送带 有干扰 ) ● 在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。 ( 在进 行配置动作 时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。 ) ● 基板流向是左 → 右时，从右端按顺序设置。 基板流向是右…
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●轨道1和轨道2所使用的块不同。
(关于识别方法请参阅 → P.7-3-1)
●是双轨传送带规格时请至步骤 。
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。(在进行配置动作
时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●支撑销的设置完成后，请至步骤 。
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■左 右流向
前侧 前侧
4321
･･･
4321
･･･
■右 左流向
前侧 前侧
4321
･･･
1234
･･･
后侧 后侧
后侧 后侧
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
基板流向基板流向
基板流向
基板流向
基准位置
基准位置
基准位置ン
基准位置
9
螺栓
顺序
9
在基板支撑块(用于自动更换的)上设置支撑销(用于自动更换的)
（单轨传送带规格时）
跟前侧基准的配置
内侧基准的配置
跟前侧基准的配置
内侧基准的配置
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在基板支撑块 (自动更换用) 上设置支撑销
(双轨传送带规格时)
●是单轨传送带规格时请至步骤 。
●设置支撑销时，必需设置在基准位置。(可能与传送带有干扰)
●在紧靠初始位上的螺栓的状态下，设置支撑销。(在进行配置动作
时，有可能会发生与所吸附支撑销相干涉的危险。)
●基板流向是左→右时，从右端按顺序设置。
基板流向是右→左时，从左端按顺序设置。
●单轨模式时，只设置在固定轨道侧。
●支撑销的设置完成后，请至步骤 。
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单轨模式的配置
前侧
双轨模式的配置
前侧
4321
･･･
4321
･･･
4321
･･･
■左 右流向
■右 左流向
基准位置
4321
･･･
1234
･･･
1234
･･･
前侧 前侧
基准位置
基准位置
双轨模式的配置
后侧 后侧
后侧
后侧
基板流向
基板流向
基板流向
基板
流向
基准位置
8
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
固定轨道
个别
准备
支撑销 (自动更换用) 的
安装 2
操作手册
3-3-7
单轨模式的配置
螺栓
●轨道1和轨道2所使用的块不同。
(关于识别方法请参阅 → P.7-3-1)
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安装供料器工作台盖
安装交换台车
(→P.2-4)
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ACTIVATION
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●然后，确认在基准位置实际配
置的支撑销数量和设备内保持
的支撑销数量。
ACTIVATION
顺序
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