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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-03O-00 3-3-7 -7 支撑销的更换 1 + B C D A 1 C D A B 个别 准备 支撑销 ( 自动更换用 ) 的 安装 5 操作手册 3-3-7 请事先读入有支撑销配置信息的生产 数据。 ( 把支撑销配置在生产数据的配置坐标的位 置。 ) ●更换支撑销时如果紧急停止，支撑 销可 能会落下，不可直接再启动。或者将 脱 落的支撑销重新设置到主站上，或者 更 换上新的支撑销。 ●…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-03O-00
3-3-7-6
个别
准备
操作手册
3-3-7
2
确认支撑销的数量
1
+
3
+
4
12
支撑销 (自动更换用) 的
安装 4
(XY单元退避，成为可以增减支撑销的状
态)
请选择要登录支撑销的基台并实施。
当为双轨模式时，请在需要注册销的
轨道上切换轨道显示图标。
(→『操作手册』P2-2-1-
7 ‘轨道切换
按钮’)
输入设备内的支撑销数量
(确认支撑销的数量和位置，信息被更新)
■设备内配置的支撑销的数量和登录的支
撑销使用数量不同时
●重新登录或者设置，使两者数量相同。
3
4
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3-3-7-7
支撑销的更换
1
+
B
C
D
A
1
C
DA
B
个别
准备
支撑销 (自动更换用) 的
安装 5
操作手册
3-3-7
请事先读入有支撑销配置信息的生产数据。
(把支撑销配置在生产数据的配置坐标的位
置。)
●更换支撑销时如果紧急停止，支撑销可
能会落下，不可直接再启动。或者将脱
落的支撑销重新设置到主站上，或者更
换上新的支撑销。
●支撑销更换时如果打开安全盖，同时需
要更换。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量多时
生产时不使用的支撑销，设备根据基板
尺寸判断数量，使其自动退避到基板的
范围外。
* 请不要超出在 (支撑销持有数)–(生产
数据上的配置数量)
(→P3-3-7-
12) 所示的可退避销的数量。
■支撑销使用数量比生产数据上配置的数
量少时
会显示错误，需要变更支撑销使用数量。
支撑销的状态
※分别用颜色表示支撑销的状态
主: 支撑销在基准位置。(以黄绿色显示)
准备: 支撑销在生产数据的配置坐标位置。
(以蓝色显示)
不定: 支撑销的状态，不在基准位置也不
在配置位置，处于不明状态。
(以黄色显示)
无: 没有支撑销。(以灰色显示)
返回支撑销
支撑销返回基准位置。
重新配置支撑销
识别被配置的支撑销，如果配置位置在支
撑销偏位的容许范围外，需要重新配置。
支撑销信息删除
从设备取出支撑销时使用，执行后，配置
数据被清零。
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支撑销配置位置的确认
1
+
2
1
由于在取出基板时，不慎用手移动支撑销、设备的碰撞等使支撑销偏位、在生产过程中增减支撑销等情况，可
能会造成生产数据上配置的销数量和设备内的数量有所不同。
请每周1次确认支撑销的配置位置。
(确认画面显示的支撑销的状态)
继续生产。
■画面显示的支撑销的状态和设备内状态
不同时
■正常结束时
2
■在画面上有显示为不定的支撑销时
手动操作使所有的支撑销返回基准位置，
从「确认支撑销数量」开始重新操作。
(→ P3-3-7
-6)
+
3
■在画面上没有显示为不定的支撑销时
重新配置支撑销。
(配置错误的支撑销重新被配置)
3