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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-04O-0 0 4-2-12 -1 1 应对处理方法① 重新计测基板弯曲形 1 应对处理方法② 抽出错误基板 基板弯曲检测错误 1 生产 信息 操作手册 4-2-12 错误种类 应对处理方法 A: 基板弯曲超出范围 ①重新计测基板弯曲形状 ②抽出错误基板 ④基板弯曲计测示教 B: 基板弯曲预想范围异常 ①重新计测基板弯曲形状 ②抽出错误基板 ④基板弯曲计测示教 C: 基板弯曲结果斜度异…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-11-2
A B C
2
A
B
C
(显示错误的详细信息)
各个吸嘴的吸着信息
(→P.4-2-1-12)
返回原来画面。
选择表示的种类。
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-1
1
应对处理方法① 重新计测基板弯曲形
1
应对处理方法② 抽出错误基板
基板弯曲检测错误 1
生产
信息
操作手册
4-2-12
错误种类
应对处理方法
A:基板弯曲超出范围
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
④基板弯曲计测示教
B:基板弯曲预想范围异常
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
④基板弯曲计测示教
C:基板弯曲结果斜度异常
①重新计测基板弯曲形状
②抽出错误基板
③变更基板弯曲倾斜容许值
④基板弯曲计测示教
D:基板弯曲计测错误
④基板弯曲计测示教
E:基板弯曲不能补正
④基板弯曲计测示教
这里对高度传感器 (选购件) 检测到基板弯曲错误时的应对处理方法进行说明。
●基板弯曲导致的错误有下表中的5种，请根据错误种类用以下4种方法来操作。
返回到主菜单后，重新开始生产
请实施以下步骤。
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-2
3
4
+
+
2
2
(返回到主画面)
从设备上抽出发生错误的基板
实施抽取确认
(将会开始生产)