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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-04O-0 0 4-2-12 -3 6 7 6 7 5 5 生产 信息 操作手册 4-2-12 基板弯曲检测错误 2 发生基板位置错误后 ( 将删除错误发生位置的基板信息 ) ( 返回到生产准备动作画面 )
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-2
3
4
+
+
2
2
(返回到主画面)
从设备上抽出发生错误的基板
实施抽取确认
(将会开始生产)
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
4-2-12-3
6
7
6
7
5
5
生产
信息
操作手册
4-2-12
基板弯曲检测错误 2
发生基板位置错误后
(将删除错误发生位置的基板信息)
(返回到生产准备动作画面)
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-04O-00
应对处理方法③ 变更基板弯曲倾斜容许值
4-2-12-4
8
+
8
应对处理方法④ 基板弯曲计测示教
(开始生产)
●完成了基板抽取作业。
变更动作参数“基板弯曲倾斜容许值”的设定
(→『工程师手册』13-1-2 ‘动作参数的设定 ’)
实施示教
(→『工程师手册』12-1-4 ‘基板弯曲计测点数据’)