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6 定期检查 每 24 小时保养
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-05O-00
5-5-5
支撑销自动更换
各单元定期检查部位 4
＜其他＞
(选购件)
操作手册
5-5
前后侧
■支撑销 (自动更换用)
■单轨传送带
基板支撑块
(自动更换用)
■双轨传送带
6 定期检查
每24小时保养
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-06O-00
6-1-1-1
确认气压
主气压
(0.500 ~ 0.505 MPa)
1
2
3
4
①真空泵供给压
②真空破坏压
③清扫吹气压
④选购件用
工作
开始前
压力的检查 1
操作手册
6-1-1
对供给压的检查进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 3 分钟 (设备电源ON)