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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-08O-0 0 8-1-2 -3 单轨模式 ● 利用选购件可以对基准轨道和可动轨道的方向进行变更。 从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准 ■ 标准 ■ 选购件 1 2 1 2 从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准 可动轨道 可动轨道 可动轨道 可动轨道 基板搬送方向 基板搬送方向 基板搬送方向 基板搬送方向 基准轨道 基准轨道 基准轨道 基准轨道 前侧 前侧 前侧 前侧
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
双轨传送带时的单轨模式
● 基板流动方向的更改，作为选项来对应。
● 若要改成以内侧为基准 (单轨模式时) 的状态，是将传送带翻转过来进行应对。
从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准
1 2
1 2
双轨传送带时的双轨模式
8-1-2-2
规格
基板的传送方向 2
操作手册
8-1-2
从左向右输送、前侧基准
基准轨道
从右向左输送、前侧基准
基准轨道
基准轨道
基准轨道
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
可动轨道
可动轨道
可动轨道
可动轨道
可动轨道
可动轨道
基准轨道
基准轨道
基准轨道
基准轨道
前侧
前侧
前侧
前侧
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
8-1-2-3
单轨模式
● 利用选购件可以对基准轨道和可动轨道的方向进行变更。
从左向右输送、前侧基准
从右向左输送、前侧基准
■标准
■选购件
1 2
1 2
从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准
可动轨道
可动轨道
可动轨道 可动轨道
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基准轨道
基准轨道
基准轨道
基准轨道
前侧
前侧
前侧
前侧
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
2580
8-1-3-1
■连接30联台车时
基板搬送高度
FRONT SIDE
900
电源
交换台车交换台车
气体
交换台车
规格
外形尺寸
操作手册
8-1-3
(单位:mm)
外形尺寸
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
通知
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能不一致。在决定生产构成、尺寸等时，请另外申
请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离。
交换台车规格