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NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-08O-0 0 2580 8-1-3 -1 ■ 连接 30 联台车时 基板搬送高度 FRONT SIDE 900 电源 交换台车 交换台车 气体 交换台车 规格 外形尺寸 操作手册 8-1-3 ( 单位 :mm) 外形尺寸 基板搬送基准 ( 前轨道 ) 基板搬送基准 ( 前轨道 ) 通知 ●插图的比例尺寸从严格角度来看， 与实际设备可能不一致。在决定 生产构成、尺寸等时，请另外申 请资料。 ●…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
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单轨模式
● 利用选购件可以对基准轨道和可动轨道的方向进行变更。
从左向右输送、前侧基准
从右向左输送、前侧基准
■标准
■选购件
1 2
1 2
从左向右输送、前侧基准 从右向左输送、前侧基准
可动轨道
可动轨道
可动轨道 可动轨道
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基板搬送方向
基准轨道
基准轨道
基准轨道
基准轨道
前侧
前侧
前侧
前侧
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
2580
8-1-3-1
■连接30联台车时
基板搬送高度
FRONT SIDE
900
电源
交换台车交换台车
气体
交换台车
规格
外形尺寸
操作手册
8-1-3
(单位:mm)
外形尺寸
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
通知
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能不一致。在决定生产构成、尺寸等时，请另外申
请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离。
交换台车规格
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-08O-00
■连接17 x 17 台车时
外形尺寸
基板搬送高度
气体
电源
FRONT SIDE
交换台车交换台车
FRONT SIDE
交换台车
(单位:mm)
基板搬送基准
(前轨道)
基板搬送基准
(前轨道)
通知
●插图的比例尺寸从严格角度来看，与实际设备可能不一致。在决定生产构成、尺寸等时，请另外申
请资料。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离。
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