YSi_Prog_K - 第108页

2-38 2 █ 검 출조 건 파라 미터 검사대 상물의검 출 조 건 을설정 합니 다 . 참고 표시되 는 파라 미터 는 , 검사 스테이 터스에 따라 다 릅니 다 . 검출조건 파라미터 「전극 체크」 의 예 「높이 측정」 의 예 2824 5-P9-00 항목 내용 A 기준 면적 (m m 2 ) 선 택한스탭 의면적 입 니 다 .  [ 기 준면적 ] 버튼 을누르 면 ,자 동으로입 력됩 니…

100%1 / 203
2-37
2
7.2 스탭 설정기능의 상세
스탭 화면에 표시되는 각 파라미터에 대해서 설명합니다. 판정조건 파라미터는 검사 스테이터스에 따라서 달
라지므로 , 본 장「8. 검사 스테이터스」를 참조해 주십시오 .
█
기본 파라미터
스탭에관한기본정보를표시합니다 .
기본 파라미터
검사 스테이터스「전극 체크」의 예
28244-P9-00
항목 내용
A
뷰 선택한스탭의뷰번호를표시합니다 .또는선택한뷰번호로점프합니다 .
B
스탭 선택한스탭번호를표시합니다 .또는입력한스탭번호로점프합니다 .
C
블록번호 블록번호 ( 분할기판번호 ) 를표시합니다 .또는입력한블록번호로점프합니다 .
D
검사스테이터스
선택한스탭의검사스테이터스를표시합니다 .또는선택된스탭의검사스테이터스를변경
합니다 .
E
LIB 명
소속하고있는라이브러리명을표시합니다 .라이브러리에등록되어있지않는부품은표시
되지않습니다 .
F
LIB 부품명 라이브러리부품명을표시합니다 .또는라이브러리부품명을입력합니다 .
G
부품명 선택한부품의명칭을표시합니다 .
H
Ref 번호 레퍼런스번호를표시합니다 .또는레퍼런스번호를입력합니다 .
I
핀번호 리드의핀번호를입력합니다 .
J
스탭중심 X(mm) 선택한스탭의중심X 좌표를표시합니다 .또는스탭의중심X 좌표를입력합니다 .
K
스탭중심 Y(mm) 선택한스탭의중심Y 좌표를표시합니다 .또는스탭의중심Y 좌표를입력합니다 .
L
등록각도 1 도단위로스탭의등록각도를지정할수있습니다 .
M
스탭사이즈 X(mm) 선택한스탭의X 폭을표시합니다 .또는X 폭을입력합니다 .
N
스탭사이즈 Y(mm) 선택한스탭의Y 폭을표시합니다 .또는Y 폭을입력합니다 .
Q
부품위치보정 부품체크 ,전극체크로인식한틀어짐량으로 ,동일Ref 의스탭위치보정을실행합니다 .
2-38
2
█
검출조건 파라미터
검사대상물의검출조건을설정합니다 .
참고
표시되는 파라미터는 , 검사 스테이터스에 따라 다릅니다 .
검출조건 파라미터
「전극 체크」 의 예 「높이 측정」 의 예
28245-P9-00
항목 내용
A
기준면적 (mm
2
)
선택한스탭의면적입니다 .
[ 기준면적 ] 버튼을누르면 ,자동으로입력됩니다 .
B
조명타입
선택한스탭을검사할때의조명입니다 .
[ 화상리스트 ] 버튼을눌러서 ,선택할수있습니다 .
C
최소검출사이즈 X(mm) 검출할최소X 사이즈를설정합니다 .
D
최소검출사이즈 Y(mm) 검출할최소Y 사이즈를설정합니다 .
E
문자사이즈 X(mm) 인식할문자의가로사이즈를설정합니다 .
F
문자사이즈 Y(mm) 인식할문자의세로사이즈를설정합니다 .
G
최소면적 (%) 인식할최소면적을설정합니다 .기준면적에대한% 를입력합니다 .
P
하한경계값 1 「9 레벨」화상에서검사부위를추출하기위해휘도레벨의하한을설정합니다 .
Q
상한경계값 1 「9 레벨」화상에서검사부위를추출하기위해휘도레벨의상한을설정합니다 .
R
하한경계값 2 멀티경계값 2: 자동검사시 ,2 번째의하한경계값입니다 .
S
상한경계값 2 멀티경계값 2: 자동검사시 ,2 번째의상한경계값입니다 .
T
하한경계값 3 멀티경계값 3: 자동검사시 ,3 번째의하한경계값입니다 .
U
상한경계값 3 멀티경계값 3: 자동검사시 ,3 번째의상한경계값입니다 .
V
하한경계값 4 멀티경계값 4: 자동검사시 ,4 번째의하한경계값입니다 .
W
상한경계값 4 멀티경계값 4: 자동검사시 ,4 번째의상한경계값입니다 .
X
측정타입 높이측정의「기준」「포인트측정」「라인측정」에서선택합니다 .
Y
측정각도 높이측정시의레이저유니트의각도를지정합니다 .
Z
샘플링피치 (mm) 높이측정시 ,「라인측정」으로선택했을때의높이측정을하는피치를설정합니다 .
a
재시도
높이측정시 ,재시도의실행여부를설정합니다 .「한다」로선택한경우에는 ,
•
포인트측정 : 헤드를180 도회전시켜서측정합니다 .
•
라인측정 : 헤드가왕복측정을합니다 .
c
측정방법 높이측정시 ,「기준」으로선택했을때의측정결과를구하는방법을선택합니다 .
2-39
2
█
옵션 파라미터
참고
표시되는 파라미터는 , 검사 스테이터스에 따라 다릅니다 .
옵션 파라미터
검사 스테이터스「전극 체크」의 예
28246-P9-00
항목 내용
A
OKJump 판정결과가「OK」일경우 ,그다음에검사할스탭번호를지정합니다 .
B
NGJump 판정결과가「NG」일경우 ,그다음에검사할스탭번호를지정합니다 .
E
NG 이유
자동검사에서NG 로판정되었을때에표시됩니다 .
최대문자수 : 반각14 문자이내 ,전각7 문자이내
F
로컬피듀셜번호 로컬피듀셜번호를표시하거나입력합니다 .
G
로컬배드마크번호 로컬배드마크번호를표시하거나입력합니다 .
K
마스크타입
무효: 검사마스크처리를실행하지않습니다 .
검사대상: 직사각형으로둘러싼영역을항상검출합니다 .(「9 레벨」로빨갛게됩니다 .)
검사대상외: 직사각형으로둘러싼영역을검사대상에포함하지않습니다 .
L
마스크중심옵셋 X(mm) 스탭중심위치에서마스크중심위치까지의X 옵셋량을설정합니다 .
M
마스크중심옵셋 Y(mm) 스탭중심위치에서마스크중심위치까지의Y 옵셋량을설정합니다 .
N
마스크사이즈 X(mm) 검사마스크의X 방향의사이즈를설정합니다 .
O
마스크사이즈 Y(mm) 검사마스크의Y 방향의사이즈를설정하니다 .
참고
「OK Jump」,「NG Jump」를 사용하지 않을 경우나 검사결과가 조건에 맞지 않을 경우는 , 그 다음 스탭 번호의 검사를
실행합니다 .