YSi_Prog_K - 第142页

2-72 2 3 판 정조건 파라미터를 설정합니다 . 「판정조 건」 탭화 면 을열 어 서 ,다음의파라미 터 를설 정 해주십 시 오 . 판정조건 파라미터 검사스테이터스:극성체크 28286-P9- 00 A~D . 허용 옵 셋량 N~ W(mm )  위 치틀어 짐 의허 용범 위 를설 정 합니 다 . ( 참 고 값 :0.20 0) L . 최 소 면적 (%)  면적규격 의최 소 면…

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2
8.8 극성 체크
이 검사 스테이터스는 , IC 부품 등의 극성 마크를 검사할 경우에 사용합니다 .
극성마크의 종류에 따라서는 ,「휘도 레벨」「비교」검사 스테이터스가 적합할 경우가 있습니다 .
1
스탭을 설정합니다 .
1. 스탭범위를작성합니다 .
원형마크에스탭범위를적성할경우는 ,원의외주보다도조금작게작성해주십시오 .
2. 검사스테이터스를「극성체크」로설정합니다 .
3. 경계값을설정합니다 .
참고
스탭 범위의 작성과 경계값의 설정에 관해서는 , 본 장「7.1 스탭 설정의 기본순서」를 참조해 주십시오 .
검사 스테이터스
극성 체크
「전극체크」로 설정
28284-P9-00
2
검출조건 파라미터를 설정합니다 .
「검출조건」탭화면을열어서 ,다음의파라미터를설정해주십시오 .
검출조건 파라미터
검사 스테이터스:극성 체크
[기준면적]버튼
28285-P9-00
A. 기준면적 (mm
2
)
[ 기준면적 ] 버튼을누르면 ,작성한스탭범위의면적이자동으로설정됩니다 .
C, D. 최소 검출사이즈 (mm)
검사대상물의최소사이즈를설정합니다 .
「최소검출사이즈」의초기값으로서 ,X0.06,Y0.06 을입력해주십시오 .
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2
3
판정조건 파라미터를 설정합니다 .
「판정조건」탭화면을열어서 ,다음의파라미터를설정해주십시오 .
판정조건 파라미터
검사스테이터스:극성체크
28286-P9-00
A~D. 허용 옵셋량 N~W(mm)
위치틀어짐의허용범위를설정합니다 .( 참고값 :0.200)
L. 최소면적 (%)
면적규격의최소면적을설정합니다 .( 참고값 :70%)
M. 최대면적 (%)
면적규격의최대면적을설정합니다 .( 참고값 :130%)
4
스탭 테스트를 실행합니다 .
1. 파라미터의설정이완료되면 ,[ 스탭 ] 버튼을눌러서 ,작성한스텝의테스트를실행해주십시오 .
2. 검출데이터를확인한후 ,[ 종료 ] 버튼을누릅니다 .이때 ,테스트결과가「NG」라도문제없습니다 .
3. 테스트결과가「OK」로되면[ 결과 ] 버튼을누르고 ,계속해서[ 자동계산 ] 버튼을눌러주십시오 .
검출사이즈의XY 폭의50% 의값이검출조건파라미터의「C,D최소검출사이즈 XY」에각각설정됩
니다 .
5
스탭 범위의 사이즈를 변경합니다 .
극성마크주위의영향에의한「허용틀어짐 NG」의과판정을피하기위해서 ,스탭범위사이즈를극성마
크의1.5~2 배로변경합니다 .기본파라미터의「M,N스탭사이즈 X,Y」를변경해주십시오 .
6
「허용 옵셋량」을 변경합니다 .
판정조건파라미터의「A~D.허용옵셋량 N~W(mm)」를전부「SKIP」으로설정해주십시오 .
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재차 , 스탭 테스트를 실행합니다 .
1. [ 스탭 ] 버튼을눌러서재차스탭테스트를실행해주십시오 .
2. 검출데이터를확인한후 ,[ 종료 ] 버튼을누릅니다 .
검출 데이터
ThresholdNo. : 검사한경계값의번호입니다 .
dx=,dy= : 스탭범위와검출영역중심의틀어짐량입니다 .
Area= : 검출면적의기준면적에대한% 입니다 .
3. 테스트결과에따라서 ,「검출조건」「판정조건」파라미터를재검토해주십시오 .
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8.9 전극 체크
이 검사 스테이터스는 , 칩 부품의 전극 거리를 판정해서 부품 결품이나 위치 틀어짐을 검사할 경우에 사용
합니다 .
1
스탭을 설정합니다 .
1. 스탭범위를작성합니다 .
2. 검사스테이터스를「전극체크」로설정합니다 .
3. 경계값을설정합니다 .
참고
스탭 범위의 작성과 경계값의 설정에 관해서는 , 본 장「7.1 스탭 설정의 기본순서」를 참조해 주십시오 .
검사 스테이터스
전극 체크
「전극 체크」로 설정
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2
검출조건 파라미터를 설정합니다 .
「검출조건」탭화면을열어서 ,다음의파라미터를설정해주십시오 .
검출조건 파라미터
검사 스테이터스:전극 체크
[기준면적]버튼
28288-P9-00
A. 기준면적 (mm
2
)
[ 기준면적 ] 버튼을누르면 ,작성한스탭범위의면적이자동으로설정됩니다 .