YSi_Prog_K - 第164页
3-8 3 7 검사기 상 세설정의 파라 미터를 설정 합니다 . 다음표 를참 고 해 서설정 해주십 시 오 . 항목 설정값 Y S i -12 (19 μ m ) Y S i -12 (10 μ m ) Y S i -12 (5 μ m) YSi- S (19 μ m ) YSi- S (10 μ m ) YSi- S (5 μ m) 뷰사이즈 X( ㎛ ) 44600 22600 12 3 0 0 44600 22…
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6
「검사기 설정」란에서「INSPECTOR1」을 선택하고 , [ 변경 ] 버튼을 누릅니다 .
「검사기 상세설정」화면
「INSPECTOR1」을 선택
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항목 범위 설명
검사기명 20 문자이내 메뉴에표시되는항목명을설정합니다 .
라이브러리경로
259 문자이내
변환에사용되는형상대응표xml파일을설정합니다 .
[ 참조 ] 버튼을누르면파일선택화면에서선택할수있습니다 .
출력경로
259 문자이내
변환후의검사데이터의디폴트출력처를설정합니다 .
[ 참조 ] 버튼을누르면참조화면에서선택할수있습니다 .
출력데이터형식
YVi 포맷 /YSi 포맷
출력데이터형식을설정합니다 .
자동블록할당 ON/OFF
변환시 ,자동블록할당의실행여부를설정합니다 .
이기능을사용할경우는 ,뷰사이즈 X 이후의항목을검사기본체와
맞출필요가있습니다 .
블록 FID변환방법 변환안한다 / 로컬피듀셜
「출력데이터형식 :YVi 포맷」으로설정되어있을경우 :
기판데이터의블록피듀셜과로컬피듀셜을 ,검사기에서로컬피듀
셜스탭으로변환할것이지의여부를설정합니다 .
「출력데이터형식 :YSi 포맷」으로설정되어있을경우 :
설정이불가능합니다 .
기판데이터의로컬피듀셜을 ,검사기의로컬피듀셜로변환합니다 .
로컬 FID변환방법 변환안한다 / 로컬피듀셜
뷰사이즈 X( ㎛ ) 10000~999999 검사기의뷰사이즈 X( ㎛ )
뷰사이즈 Y( ㎛ ) 10000~999999 검사기의뷰사이즈 Y( ㎛ )
카메라대기위치 X( ㎛ ) 999999~999999 검사기의카메라대기위치 X( ㎛ )
카메라대기위치 Y( ㎛ ) 999999~999999 검사기의카메라대기위치 Y( ㎛ )
카메라이동속도 X( ㎛ /s) 1~2147483647 검사기의카메라이동속도 X( ㎛ /s)
카메라이동속도 Y( ㎛ /s) 1~2147483647 검사기의카메라이동속도 Y( ㎛ /s)
카메라가속도 X(G) 0.001~9.999 검사기의카메라가속도 X(G)
카메라가속도 Y(G) 0.001~9.999 검사기의카메라가속도 Y(G)
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3
7
검사기 상세설정의 파라미터를 설정합니다 .
다음표를참고해서설정해주십시오 .
항목
설정값
YSi-12
(19 μ m)
YSi-12
(10 μ m)
YSi-12
(5 μ m)
YSi-S
(19 μ m)
YSi-S
(10 μ m)
YSi-S
(5 μ m)
뷰사이즈 X( ㎛ ) 44600 22600 12300 44600 22600 12300
뷰사이즈 Y( ㎛ ) 37400 20600 10300 3740 0 20600 10300
카메라대기위치 X( ㎛ ) 0
카메라대기위치 Y( ㎛ ) 0
카메라이동속도 X( ㎛ /s) 1500000 1300000
카메라이동속도Y( ㎛ /s) 1500000 1100000
카메라가속도 X(G) 4.0 2.0
카메라가속도 Y(G) 2.5 1.2
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[OK] 버튼을 눌러서 검사기 상세설정을 종료합니다 .
「검사기데이터변환설정」화면으로되돌아가므로 ,[OK] 버튼을눌러주십시오 .
확인대화창이표시되면 ,내용을확인하고[ 확인 ] 버튼을누릅니다 .
9
기판 익스플로러를 재기동 합니다 .
기판익스플로러를재기동하면 ,설정이유효하게됩니다 .
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1.3 기판데이터의 작성
P-Tool 을 사용해서 , 기판데이터로부터 검사데이터를 작성하는 방범에 대해서 설명합니다 .
1
기판 익스플로러를 기동합니다 .
2
트리뷰에서 대상 라인을 선택합니다 .
3
메인뷰에서 변환시킬 기판데이터를 선택합니다 .
[Shift] 키나[Ctrl] 키를사용해서 ,복수의기판데이터를선택할수가있습니다 .
기판 익스플로러
Step 3
Step 2
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4
변환할 검사기를 선택합니다 .
「데이터」메뉴의「기판데이터변환」을선택해서 ,「YSi-12 데이터로변환」을클릭해주십시오 .
「기판데이터변환」화면이표시됩니다 .
검사기의 선택
기판명을 우측클릭해서 선택할 경우
데이터 메뉴에서 선택할 경우
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