YSi_Prog_K - 第165页

3-9 3 1 .3 기 판데이터 의 작성 P- T ool 을 사 용 해서 , 기판데 이 터 로부터 검 사데 이터 를 작성 하 는 방범 에 대해서 설 명 합니다 . 1 기판 익스플로러를 기동합니다 . 2 트리뷰에 서 대 상 라인을 선 택합 니다 . 3 메인뷰에 서 변환시 킬 기판데이터를 선 택합니다 . [Shif t] 키 나[ Ct r l ] 키를사용해 서 ,복수 의기 판데 이터 를선…

100%1 / 203
3-8
3
7
검사기 상세설정의 파라미터를 설정합니다 .
다음표를참고해서설정해주십시오 .
항목
설정값
YSi-12
(19 μ m)
YSi-12
(10 μ m)
YSi-12
(5 μ m)
YSi-S
(19 μ m)
YSi-S
(10 μ m)
YSi-S
(5 μ m)
뷰사이즈 X( ㎛ ) 44600 22600 12300 44600 22600 12300
뷰사이즈 Y( ㎛ ) 37400 20600 10300 3740 0 20600 10300
카메라대기위치 X( ㎛ ) 0
카메라대기위치 Y( ㎛ ) 0
카메라이동속도 X( ㎛ /s) 1500000 1300000
카메라이동속도Y( ㎛ /s) 1500000 1100000
카메라가속도 X(G) 4.0 2.0
카메라가속도 Y(G) 2.5 1.2
8
[OK] 버튼을 눌러서 검사기 상세설정을 종료합니다 .
「검사기데이터변환설정」화면으로되돌아가므로 ,[OK] 버튼을눌러주십시오 .
확인대화창이표시되면 ,내용을확인하고[ 확인 ] 버튼을누릅니다 .
9
기판 익스플로러를 재기동 합니다 .
기판익스플로러를재기동하면 ,설정이유효하게됩니다 .
3-9
3
1.3 기판데이터의 작성
P-Tool 을 사용해서 , 기판데이터로부터 검사데이터를 작성하는 방범에 대해서 설명합니다 .
1
기판 익스플로러를 기동합니다 .
2
트리뷰에서 대상 라인을 선택합니다 .
3
메인뷰에서 변환시킬 기판데이터를 선택합니다 .
[Shift] 키나[Ctrl] 키를사용해서 ,복수의기판데이터를선택할수가있습니다 .
기판 익스플로러
Step 3
Step 2
28308-P9-00
4
변환할 검사기를 선택합니다 .
「데이터」메뉴의「기판데이터변환」을선택해서 ,「YSi-12 데이터로변환」을클릭해주십시오 .
「기판데이터변환」화면이표시됩니다 .
검사기의 선택
기판명을 우측클릭해서 선택할 경우
데이터 메뉴에서 선택할 경우
28309-P9-00
3-10
3
5
변환시킬 기판데이터를 선택하고 , [ 변환실행 ] 버튼을 누릅니다 .
기판데이터 변환
[저장처 변경]버튼[변환실행]버튼
[기판명 변경]버튼
28310-P 9- 00
n
요점
작성할 검사데이터명을 변경할 경우에는 , [ 기판명 변경 ] 버튼을 눌러 주십시오 .
기판데이터의 저장 장소를 변경할 경우에는 , [ 저장처 변경 ] 버튼을 눌러 주십시오 .
6
분할기판 블록번호의 설정방법을 선택하고 , [OK] 버튼을 누릅니다 .
분할기판 블록번호를 사용한다
28311-P 9 -0 0
•
옵셋정보를사용한다
블록이1 개의기판데이터나블록전개를하지않은기판데이터를변환할경우에선택합니다 .
•
참고데이터를사용한다
블록전개가완료된기판데이터를변환할경우에선택합니다 .
•
오리지널블록번호를사용한다 (YGX 만 )
YGX 확장탑재데이터출력특수설정 (Tok1116.ini) 이유효하며 ,변환원기판데이터의데이터타입
이YGX 의경우에선택합니다 .
n
요점
[ 모두 예 ] 버튼을 누르면 , 이후의 기판데이터를 같은 설정으로 변환합니다 . 데이터 타입이 전환된 단계에서 재차 표시됩니다 .