YSi_Prog_K - 第170页
3-14 3 7 가져오기 한 데이터를 클릭하 고 , [ 기판선택 ] 버튼을 누 릅 니다 . 가져오기 데이터의 선택 [기판선택]버튼 2 8 317- P 9 - 0 0
3-13
3
4
검사 데이터를 선택하고 , [ 우에서 좌로 ] 버튼을 누릅니다 .
우측리스트로부터취입할데이터를선택하고 ,[ 우에서좌로 ] 버튼을눌러주십시오 .
[Shift] 키나[Ctrl] 키를사용해서 ,복수의검사데이터를선택할수도있습니다 .
검사데이터 선택
데이터를 선택한다
[우에서 좌로]버튼
[복사]버튼
28315-P9-00
5
[ 복사 ] 버튼을 눌러서 복사해 주십시오 .
복사확인대화창이표시되므로 ,내용을확인하고[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .
복수의데이터를선택했을경우 ,[ 전체 ] 버튼을눌러주십시오 .
동일데이터가존재할경우에는 ,다음과같은대화창이표시됩니다 .
덮어쓰기할경우에는 ,[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .
덮어쓰기하지않을경우에는 ,데이터명을변경한후에 ,복사해주십시오 .( 제 2 장「2.3검사데이터명
을변경한다」를참조 )
복사확인 대화창
28316-P 9 - 00
6
복사완료를 확인하고 , [ 닫기 ] 버튼을 누릅니다 .
가져오기가완료되면 ,「기판익스플로러」화면의좌측리스트에복사한데이터명이표시됩니다 .
확인후 ,[ 닫기 ] 버튼을눌러주십시오 .「셋업」화면으로되돌아갑니다 .
3-14
3
7
가져오기 한 데이터를 클릭하고 , [ 기판선택 ] 버튼을 누릅니다 .
가져오기 데이터의 선택
[기판선택]버튼
28317-P 9 -0 0
3-15
3
2.2 기판 전체화상의 작성
기판 전체화상의 작성방법에 대해서 설명합니다 .
1
기판을 컨베이어 유니트에 세팅해 주십시오 .
[ 기판교환 ] 버튼을눌러서 ,기판을삽입해주십시오 .
2
[ 검사 데이터 ]-「기판」화면을 표시합니다 .
3
[ 실행 ] 버튼을 눌러서 촬상을 시작합니다 .
기판사이즈에맞춰서 ,기판의전체화상이저장됩니다 .
기판 전체화상의 작성
[실행] 버튼
28318-P9-00