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3-16 3 2.3 기 판 피듀셜 의 등 록 기 판 피듀 셜 마크 의 등 록 방법 에 대해서 설 명 합니다 . 1 [ 검 사 데이터 ] - 「피듀셜」 화 면을 표 시합니다 . [검사데이터] ー 「피듀셜」화면 Step 2 Step 3 Step 5 Step 12 Step 6 Step 4 Step 13 Step 9 Step 9 Step 10 Step 7 Step 8 Step 11 Step 14 2…
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2.2 기판 전체화상의 작성
기판 전체화상의 작성방법에 대해서 설명합니다 .
1
기판을 컨베이어 유니트에 세팅해 주십시오 .
[ 기판교환 ] 버튼을눌러서 ,기판을삽입해주십시오 .
2
[ 검사 데이터 ]-「기판」화면을 표시합니다 .
3
[ 실행 ] 버튼을 눌러서 촬상을 시작합니다 .
기판사이즈에맞춰서 ,기판의전체화상이저장됩니다 .
기판 전체화상의 작성
[실행] 버튼
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3
2.3 기판 피듀셜의 등록
기판 피듀셜 마크의 등록 방법에 대해서 설명합니다 .
1
[ 검사 데이터 ]-「피듀셜」화면을 표시합니다 .
[검사데이터]ー「피듀셜」화면
Step 2 Step 3
Step 5
Step 12
Step 6
Step 4 Step 13
Step 9 Step 9
Step 10
Step 7
Step 8
Step 11
Step 14
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2
「기판」탭의「실행한다」를 선택합니다 .
3
보정 방법을 선택합니다 .
읽어들인데이터의피듀셜수가2 개일경우는「2 점보정」,3 개일경우는「3 점보정」을선택하십시오 .
4
피듀셜 마크 1 을 선택합니다 .
화면우측위의마크일람의X1,또는Y1 의좌표란을클릭해주십시오 .
5
[ 이동 ] 버튼을 누릅니다 .
6
마크타입에서 피듀셜을 선택합니다 .
드롭다운리스트에서피듀셜을선택해주십시오 .필요에따라마크명을입력해주십시오 .
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피듀셜 파라미터를 설정합니다 .
화면우측아래에있는피듀셜파라미터의다음항목을설정해주십시오 .
A. 인식타입
형상인식을선택해주십시오 .
B. 조명타입
Step8 에서조명을선택합니다 .
D. 마크검출 범위
마크를검출하는사이즈를설정합니다 .
E,F. 휘도 Gain, Offset
기판상의마크가선명하게보이도록설정해주십시오 .
•
휘도Gain 은마크를인식하기쉽도록하기위해 ,마크를보다밝게비치도록조정합니다 .
•
휘도Offset 은마크를강조하기위해 ,전체를어둡게비치도록조정합니다 .
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8
[ 조명리스트 ] 버튼을 눌러서 명료한 화상을 선택합니다 .
[ 조명리스트 ] 버튼을누르면「화상리스트」화면이표시되므로 ,그중에서마크가명료하게보이는화상
을선택하고 ,[ 세팅 ] 버튼을눌러주십시오 .세팅이완료되면「피듀셜」화면으로되돌아갑니다 .
참고
「화상 리스트」화면의 조명으로 피듀셜 마크를 명료하게 식별할 수 없을 경우에는 ,「CUSTOM」조명을 사용할 수가 있습니다 .
설정방법에 관해서는 ,「4.2 피듀셜 마크 CUSTOM 조명의 설정」을 참조해 주십시오 .
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경계값을 설정합니다 .
[ 컬러 ] 버튼을누르고 ,경계값슬라이더바를이동시켜서마크만이빨갛게표시되도록조정해주십시오 .
0
[ 자동계측 ] 버튼을 누릅니다 .
확인메시지가표시되므로 ,[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .
q
마크를 마우스 드래그로 둘러쌉니다 .
마우스를드래그해서 ,피듀셜마크를둘러싸주십시오 .
인식타입별로자동으로계측해서 ,각파라미터가설정되며 ,마크검출검사를실행합니다 .
w
[ 종료 ] 버튼을 눌러서 검출테스트를 종료합니다 .
테스트결과가NG 된경우는 ,Step7 부터재실행해주십시오 .
참고
마크인식이 정상적으로 종료되면 인식좌표가 마크화면의 좌상에 표시됩니다 .
r
[ 저장 ] 버튼을 눌러서 , 검사데이터를 저장합니다 .