YSi_Prog_K - 第38页
1-3 1 1. 3 셋 업 화 면 「셋 업」화면 의 주 된 기 능 에 대해 서 설명 합니 다 . 「셋업」화면 4 1 3 2 5 6 7 8 9 10 13 14 15 12 11 2 810 2 -P 9 - 0 0 항목 / 버튼명 기능 1 참조 처 기판데 이터 가저장되 어있는장 소를표시합니 다 . 2 데 이터리 스트 저 장되어있 는검사데이 터의일 람 표 입니 다 . 3 데 이터 변경…
1-2
1
1.2 버튼 에리어의 기능
버튼 에리어의 각 버튼 눌러서 실행 가능한 기능에 대해서 설명합니다 .
선택한 버튼에 따라서 프리 에리어의 내용이 바뀝니다 . 각 화면에 대해서는 , 후술에서 설명합니다 .
버튼 에리어
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버튼명 기능
１
셋업 셋업화면을표시합니다 .( 본장「1.3셋업화면」참조 )
２
기판데이터 검사데이터화면을표시합니다 .( 본장「1.4검사데이터화면」참조 )
３
자동검사 자동검사화면을표시합니다 .( 본장「1.5자동검사화면」참조 )
４
장치 각유니트의수동조작을실행하는장치화면을표시합니다.( 본장「1.3장치화면」참조)
５
장비설정 시스템설정을실행하는화면을표시합니다 .( 본장「1.7장비설정화면」참조 )
6
저장
검사데이터의저장을합니다 .
각화면에서편집한후에[ 저장 ] 버튼을누르면확인대화창이표시되며 ,[ 예 ] 버튼을
누르면편집내용이저장됩니다 .
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기판교환
검사기내의기판교환 ,기판을실행합니다 .
검사기내에기판이없을때 ,기판을반입할때에도이버튼을누릅니다 .
8
전원 OFF 소프트의종료와컨트롤러의시스템종료를실행합니다 .
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1.3 셋업화면
「셋업」화면의 주된 기능에 대해서 설명합니다 .
「셋업」화면
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28102-P 9 - 00
항목 / 버튼명 기능
1
참조처 기판데이터가저장되어있는장소를표시합니다 .
2
데이터리스트 저장되어있는검사데이터의일람표입니다 .
3
데이터변경버튼
데이터리스트내의데이터를선택합니다 .직접데이터리스트내의데이터를클릭해
도선택가능합니다 .
4
기판선택 검사데이터리스트내에서선택한검사데이터를읽습니다 .
5
신규작성 신규검사데이터를작성할경우에 ,이버튼을눌러서작성합니다 .
6
복사 검사데이터리스트내에서선택한검사데이터를복사합니다 .
7
삭제 검사데이터리스트내에서선택한검사데이터를삭제합니다 .
8
이름변경 선택한데이터의데이터명을변경합니다 .
9
기판익스플로러 검사데이터의가져오기 / 내보내기를실행합니다 .
10
표시갱신 검사데이터관리파일을갱신합니다 .
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원점복귀 헤드 / 컨베이어 / 레이저를원점으로이동시킵니다 .
12
워밍업
이버튼을누르면 ,이동축의워밍업운전을실행하는대화창이표시됩니다 .
[ 지정시간에정지 ] 버튼을누르면 ,워밍업시간을지정할수있습니다 .
[ 시작 ] 버튼을누르면이동축의워밍업운전이시작됩니다 .
[ 정지 ] 버튼을누르면 ,이동축의워밍업운전이정지됩니다 .
[ 닫기 ] 버튼을누르면 ,대화창이닫히고 ,조작화면으로돌아갑니다 .
13
시스템백업 장비의설정내용을백업합니다 .
14
미디어제거 접속한미디어를완전히제거 ( 탈착 ) 합니다 .
15
버전 버전이나가동시간 ,시리얼번호등을표시합니다 .
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1
1.4 검사데이터 화면
검사데이터 화면의 주된 기능에 대해서 설명합니다 .
검사데이터의 설정방법에 관해서는 ,「제 2 장 검사데이터의 작성과 설정」을 참조해 주십시오 .
1.4.1 「 기 판 」화 면
이 화면에서는 , 기판의 검사를 실행함에 있어서 필요한 기본사항의 설정과 기판 전체화상의 작성을 실행합니
다.
[검사 데이터] - 「기판」화면
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「조명설정」화면
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항목 / 버튼명 기능
１
데이터리스트 기판사이즈등 ,검사를실행하기위한설정을합니다 .
２
조명타입변경
기판전체화상을저장할때의조명을변경합니다 .
선택한조명을촬상한화상이조명설정화면에표시됩니다 .
３
실행 기판전체화상을촬상합니다 .
４
중단 기판전체화상을중단합니다 .
５
NG 화상선택 NG 발생시에리페어스테이션 ( 옵션 ) 에전송할표시화상의조명타입을설정합니다 .
6
컨베이어 컨베이어폭변경용화면을표시합니다 .