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1-21 1 █ 컨 베이어 속도 조 정 방법 1 조정용 기판사이즈를 입력합니다 . 사용할조 정 용기 판의X,Y 사 이 즈 를입 력 합니 다 . 2 조정할 속도를 선 택합니다 . 「 표 준속 도 」 와 「저 속 도 」 중 에 서조정 할속 도 의라디 오버 튼을클릭 해주십 시 오 .조정 할스피 드를변 경 할 경 우에 는 ,우측란의숫 자 를변 경 해주십 시 오 . …

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1.7.1 컨베이어 설정
「장비설정」화면의 [ 컨베이어 설정 ] 버튼을 누르면 ,「컨베이어」화면이 표시됩니다 .
이 화면에서는 , 컨베이어의 폭을 조정하거나 , 속도를 조정할 수 있습니다 .
「컨베이어」화면
컨베이어폭 조정 컨베이어 속도조정
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항목 / 버튼명 기능
조정용기판사이즈 사이즈 XY,여백 조정용기판의사이즈를입력합니다 .
컨베이어폭조정 설정 조정한컨베이어폭을결정짓고 ,반영시킵니다 .
브레이크
비상정지상태에서컨베이어폭의브레이크를해제할경우에사용합니다 .
서보 ON 하면자동적으로브레이크는해제됩니다 .
x.xxmm
버튼을누르면 ,스크롤바의화살표를눌렀을때의컨베이어의이동피치
를변경합니다 .(0.01mm,0.100mm,0.500mm,5.000mm)
원점복귀 컨베이어가원점으로이동합니다 .
컨베이어속도조정 조정실행 기판을자동반송시켜서 ,설정속도를조절합니다 .
취소
조정실행중 ,또는속도확인중에[ 취소 ] 버튼을누르면 ,기판반송동작
이중단됩니다 .
속도확인 버튼을누르면 ,기판의반송속도가측정되어 ,「현재속도」에표시됩니다 .
기판고정대기시간
기판반입시에검사위치센서가기판을검출한다음 ,클램프가동작할
때까지의시간을설정합니다 .
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컨베이어폭 조정 방법
1
조정용 기판사이즈를 입력합니다 .
사용할조정용기판의X,Y 사이즈를입력합니다 .여백에는0.5mm 를입력합니다 .
2
컨베이어폭을 기판폭에 맞춥니다 .
커서를상하로움직이거나 ,상하의삼각버튼을눌러서컨베이어폭을기판폭에맞춥니다 .
3
[ 설정 ] 버튼을 누릅니다 .
설정한컨베이어폭이세팅됩니다 .
4
[ 저장 ] 버튼을 누릅니다 .
설정한컨베이어폭이저장됩니다 .
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█
컨베이어 속도조정 방법
1
조정용 기판사이즈를 입력합니다 .
사용할조정용기판의X,Y 사이즈를입력합니다 .
2
조정할 속도를 선택합니다 .
「표준속도」와「저속도」중에서조정할속도의라디오버튼을클릭해주십시오 .조정할스피드를변경할
경우에는 ,우측란의숫자를변경해주십시오 .
3
기판을 컨베이어의 입구에 세팅하고 [ 조정실행 ] 버튼을 누릅니다 .
기판이자동으로반송되어 ,속도가조정됩니다 .
4
[ 저장 ] 버튼을 누릅니다 .
설정한컨베이어속도가저장됩니다 .
1.7.2 조명교정
「장비설정」화면의 [ 조명교정 ] 버튼을 누르면 ,「조명교정」화면이 표시됩니다 .
여기에서는 , LED 조명조도를 진단할 수 있으며 , 정기적으로 진단함으로서 광량의 시간경과에 따른 변화로
인해 발생하는 검사에 미치는 영향을 억제시킬 수 있습니다 . 측정한 조명조도가 기준값 이외의 경우에는 메
시지를 표시해서 , 조명교정 작업을 재촉합니다 .
「광량측정」화면
２색판 좌표등록
광량측정
광량측정 결과
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c
주의
조명조도의진단이나교정을실행할경우 ,2 색판의상면에더러움이나이물질이없도록해주십시오 .
본 기능을 사용하기 전에 , 검사기에 부착되어 있는 2 색판의 위치좌표를 등록할 필요가 있습니다 . 등록이
완료되면 , 그 이후의 좌표등록은 필요없습니다 .
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2 색판의 좌표등록 방법
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[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
「조명조도진단」화면의[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,「티칭 / 트레이스」화면이표시됩니다 .
「티칭/트레이스」화면
Step 2
Step 3 Step 4
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화면중앙에 2 색판이 표시되도록 카메라를 이동시킵니다 .
커서를이동해서 ,2 색판이화면의중앙에표시되도록카메라를이동시켜주십시오 .
3
[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,2 색판의좌표가등록됩니다 .
4
[ 닫기 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 닫기 ] 버튼을누르면 ,「광량측정」화면으로되돌아갑니다 .
█
광량측정 순서
광량측정을실행하고 ,결과가기준값에서벗어나있는경우에는 ,조명교정작업을실시해주십시오 .
조명교정을실행하기전에 ,확산판과2 색판에더러움이나이물질등이있는지확인한후 ,웨이퍼등으로닦아주십시오 .
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[ 광량측정 ] 버튼을 누릅니다 .
2
[ 예 ] 버튼을 누릅니다 .
각각의조명에대해자동으로광량을측정하고 ,측정결과를표시합니다 .
「광량측정」화면
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참고
조정 소프트로 교정작업을 실행하기 위해서는 , 별도로 기준 플레이트가 필요하며 , 작업순서에 관한 트레이닝을 받으셔야 합
니다 .