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1-22 1 █ 2 색 판의 좌표등 록 방법 1 [ 좌표등 록 ] 버튼 을 누 릅니다 . 「 조 명 조도진 단」 화 면 의[ 좌표 등록 ] 버튼 을누 르 면 , 「티 칭 / 트레 이 스 」 화면 이표시 됩 니 다 . 「티칭/트레이스」화면 Step 2 Step 3 Step 4 28 1 1 8-P9-00 2 화면중앙 에 2 색판이 표 시 되도록 카메라 를 이동 시킵니다 . 커서 를이 동…
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컨베이어 속도조정 방법
1
조정용 기판사이즈를 입력합니다 .
사용할조정용기판의X,Y 사이즈를입력합니다 .
2
조정할 속도를 선택합니다 .
「표준속도」와「저속도」중에서조정할속도의라디오버튼을클릭해주십시오 .조정할스피드를변경할
경우에는 ,우측란의숫자를변경해주십시오 .
3
기판을 컨베이어의 입구에 세팅하고 [ 조정실행 ] 버튼을 누릅니다 .
기판이자동으로반송되어 ,속도가조정됩니다 .
4
[ 저장 ] 버튼을 누릅니다 .
설정한컨베이어속도가저장됩니다 .
1.7.2 조명교정
「장비설정」화면의 [ 조명교정 ] 버튼을 누르면 ,「조명교정」화면이 표시됩니다 .
여기에서는 , LED 조명조도를 진단할 수 있으며 , 정기적으로 진단함으로서 광량의 시간경과에 따른 변화로
인해 발생하는 검사에 미치는 영향을 억제시킬 수 있습니다 . 측정한 조명조도가 기준값 이외의 경우에는 메
시지를 표시해서 , 조명교정 작업을 재촉합니다 .
「광량측정」화면
２색판 좌표등록
광량측정
광량측정 결과
28117-P9 - 00
c
주의
조명조도의진단이나교정을실행할경우 ,2 색판의상면에더러움이나이물질이없도록해주십시오 .
본 기능을 사용하기 전에 , 검사기에 부착되어 있는 2 색판의 위치좌표를 등록할 필요가 있습니다 . 등록이
완료되면 , 그 이후의 좌표등록은 필요없습니다 .
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1
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2 색판의 좌표등록 방법
1
[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
「조명조도진단」화면의[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,「티칭 / 트레이스」화면이표시됩니다 .
「티칭/트레이스」화면
Step 2
Step 3 Step 4
28118-P9-00
2
화면중앙에 2 색판이 표시되도록 카메라를 이동시킵니다 .
커서를이동해서 ,2 색판이화면의중앙에표시되도록카메라를이동시켜주십시오 .
3
[ 좌표등록 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 좌표등록 ] 버튼을누르면 ,2 색판의좌표가등록됩니다 .
4
[ 닫기 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 닫기 ] 버튼을누르면 ,「광량측정」화면으로되돌아갑니다 .
█
광량측정 순서
광량측정을실행하고 ,결과가기준값에서벗어나있는경우에는 ,조명교정작업을실시해주십시오 .
조명교정을실행하기전에 ,확산판과2 색판에더러움이나이물질등이있는지확인한후 ,웨이퍼등으로닦아주십시오 .
1
[ 광량측정 ] 버튼을 누릅니다 .
2
[ 예 ] 버튼을 누릅니다 .
각각의조명에대해자동으로광량을측정하고 ,측정결과를표시합니다 .
「광량측정」화면
28119-P9 - 00
참고
조정 소프트로 교정작업을 실행하기 위해서는 , 별도로 기준 플레이트가 필요하며 , 작업순서에 관한 트레이닝을 받으셔야 합
니다 .
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1
1.7.3 서버 설정
「장비설정」화면의 [ 서버설정 ] 버튼을 누르면 , 판정모드의 설정이나 서버경로의 설정을 실행할 수 있습니다 .
「서버설정」화면
1
2
3
28120-P9- 0 0
1. 옵션 소프트웨어 설정
옵션소프트웨어를설정합니다 .
•
판정모드
사용할판정모드를선택합니다 .
단독판정 : 옵션소프트웨어는사용하지않고 ,검사기에서만판정합니다 .
집중판정 : 리모트판정스테이션에서최종판정합니다 .
리페어스테이션 : 리페어스테이션에NG 정보를송신해서 ,리페어스테이션에서최종판정합니다 .
•
송신조건
상기의판정모드에서리페어스테이션으로설정했을경우에 ,선택가능합니다 .
전부 : 검사결과에관계없이검사데이터를전부송신합니다 .
OK 만 : 검사결과가「OK」일경우에 ,검사데이터를송신합니다 .
NG 만 : 검사결과가「NG」일경우에 ,검사데이터를송신합니다 .
•
송신NG 화상
리모트판정스테이션과리페어스테이션에송신할NG 화상의선택을합니다 .
표준화상 : 검사화상만
비교화상 : 검사화상과좌측에표준화상
양측화상 : 표준화상과비교화상
NG 화상만 :NG 화상만
•
송신전체화상
현재미대응상태입니다 .
•
집중판정시의리페어스테이션
현재미대응상태입니다 .
•
통신설정의통지
현재미대응상태입니다 .
•
에러의통지
현재미대응상태입니다 .
•
로컬경로 / 집중판정경로 / 리페어스테이션경로 (「판정모드」에의해표시가바뀝니다 .)
옵션소프트웨어가인스톨된컴퓨터의폴더를 ,[ 찾아보기 ] 버튼을눌러서지정합니다 .
예 ) 로컬경로 : 불필요
집중판정경로 :D:
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C2system
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lines
₩
VRtr01-1.tdt
리페어스테이션경로 :D:
₩
RStation
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RSDada
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RPST.tdt