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2-13 2 3. 기 판 전 체화 상의 저장 검 사데 이터 를신 규 로작성 했 을경 우에 는 ,기판전 체 화상 을저 장할필 요가있 습니 다 .  기 판전 체 화 상의저 장 은 ,기판을장비내 로반 입 ,고정 시 킨후에실 행 합니 다 . 1 [ 검 사데이터 ] - 「기판 」 화 면을 표 시합니다 . [검사데이터] -「기판」화면 Step 7 Step 5 Step 6 …

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2.3 검사 데이터명을 변경한다

등록한 검사 데이터명을 변경할 수가 있습니다 .

[ 셋업 ] 버튼을 눌러서「기판전환」화면을 표시합니다 .

변경할 검사데이터 이외를 읽어들입니다 .

검사데이터리스트로부터변경할검사데이터이외의데이터를선택하고 ,[ 기판선택 ] 버튼을눌러주십

시오 .

변경할 검사데이터를 선택합니다 .

검사데이터리스트로부터변경할검사데이터를선택해주십시오 .

[ 이름변경 ] 버튼을 누릅니다 .

「데이터명입력」화면이표시됩니다 .

데이터명을 변경합니다 .

변경할데이터명을입력하고[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .

검사데이터명의 변경

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3. 기판 전체화상의 저장

검사데이터를신규로작성했을경우에는 ,기판전체화상을저장할필요가있습니다 .

기판전체화상의저장은 ,기판을장비내로반입 ,고정시킨후에실행합니다 .

[ 검사데이터 ] -「기판」화면을 표시합니다 .

[검사데이터] -「기판」화면

Step 7

Step 5Step 6

Step 1

Step 2

Step 4

Step 3

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기판사이즈를 입력합니다 .

기판사이즈를사이즈 X,사이즈 Y 에입력해주십시오 .

[ 컨베이어 ] 버튼을 눌러서 컨베이어폭을 변경합니다 .

「컨베이어」화면이표시되므로 ,컨베이어폭을확인하고[OK] 버튼을눌러주십시오 .

참고

푸쉬업 핀을 사용할 경우에는 , 부품과 간섭하지 않는 위치에 세팅해 주십시오 .

[ 기판교환 ] 버튼을 누릅니다 .

확인메시지가표시되므로 ,입구에기판을세팅하고[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .기판이반입되어고정

됩니다 .

[ 실행 ] 버튼을 누릅니다 .

카메라헤드가소정의피치로이동해서 ,기판전체화상을촬상합니다 .도중에중지하고싶을경우에는

[ 중단 ] 버튼을눌러주십시오 .

필요에 따라서 화상 촬상시의 조명타입을 변경합니다 .

취득한화상에서부품을확실하게식별하지못할경우에는 ,촬상시의조명을변경할수가있습니다 .

「조명타입변경」에서조명을변경하고[ 실행 ] 버튼을눌러주십시오 .( 권장조명 :M)

[ 저장 ] 버튼을 누릅니다 .

화상저장확인메시지가표시되므로 ,[ 예 ] 버튼을눌러주십시오 .

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4. 피듀셜 마크의 등록

피듀셜기능이란 ,기판상에설치되어있는피듀셜마크의인식위치결과로부터기판의외형가공오차 ,기판고정

기구로부터발생하는오차 ,기판상의틀어짐을보정시키는기능입니다 .

기판피듀셜마크는 ,기판의좌하 ( 또는좌상 ) 를마크 1,우상 ( 또는우하 ) 을마크 2 로서등록하고 ,기판전체

를위치보정하는기능입니다 .( 필요에따라서마크 3 도등록가능합니다 .)

필요에따라서 ,기판피듀셜마크등록후에블록피듀셜과로컬피듀셜을등록해주십시오 .

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피듀셜 마크

기판피듀셜 마크의 예

기판 마크2

마크1 마크3

(필요에 따라서 등록)

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4.1 피듀셜 마크를 등록한다

[ 검사데이터 ] -「피듀셜」화면을 표시합니다 .

「피듀셜 마크」화면

Step 10

Step 7

마크 파라미터

Step 8

인식결과

Step 3

Step 5

Step 2

Step 4

마크 리스트

Step 6

마크데이터 리스트

Step 10

Step 13

Step 11

Step 14

Step 9

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