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2-21 2 5 [ 이동 ] 버튼 을 누 릅니다 . 마크 리 스트 에 서마크 를선 택 한후에[ 이 동 ] 버 튼을누 르면 ,피 듀셜 마크의위 치 로카 메 라 가이 동 합니 다 . 6 마크데이터 리스 트를 입 력합니다 . 마크 리 스트의마 크 1 에서설 정 한마 크 번 호 에설정 해주십 시 오 . •  No.  마크 리 스트의마크 1 에서선 택 한마크 번 호에…

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5.1 배드마크의 설정
1
「검사데이터」-「배드마크」화면을 표시합니다 .
「배드마크」화면
Step 3
Step 2
Step 8
Step 5
Step 9
Step 11
인식결과
Step 12
Step 7
마크 파라미터
Step 6
마크데이터 리스트
Step 4
마크리스트
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2
배드마크의 종류를 선택합니다 .
「기판」「블록」「로컬」탭을표시합니다 .
█
기판 배드마크
블록배드마크또는로컬배드마크기능을사용할경우에설정합니다 .
█
블록 배드마크
「블록」탭을선택해주십시오 .각블록별로검사를스킵합니다 .
█
로컬 배드마크
「로컬」탭을선택해주십시오 .임의의스탭검사를스킵합니다 .
3
「실행한다」를 선택합니다 .
4
마크 리스트를 설정합니다 .
X1, Y1
배드마크의좌표를입력합니다 .또는 ,기판화상의배드마크를클릭한후 ,아래의뷰화상에서배드
마크의중심을클릭합니다 .마크가화면의중심 ( 하늘색십자선교점 ) 위치에있는것을확인하고 ,
[ 티칭 ] 버튼을눌러주십시오 .
마크 1
마크번호를입력합니다 .이번호는마크데이터리스트에대응하고있습니다 .
n
요점
• 블록 배드마크의 설정을 실행할 경우는 , 해당 블록번호의 행에 배드마크를 설정합니다 .
• 로컬 배드마크의 설정을 실행할 경우는 , 각각의 로컬 배드마크의 설정을 합니다 .
해당하는「스탭」-「옵션」파라미터의「G 로컬 배드마크 번호」에 마크리스트의 No. 를 설정해 주십시오 .
참고
배드마크가 잘 보이지 않을 경우에는 , [ 조명 ] 버튼을 눌러서 조명을 변경해 주십시오 .
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[ 이동 ] 버튼을 누릅니다 .
마크리스트에서마크를선택한후에[ 이동 ] 버튼을누르면 ,피듀셜마크의위치로카메라가이동합니다 .
6
마크데이터 리스트를 입력합니다 .
마크리스트의마크 1 에서설정한마크번호에설정해주십시오 .
•
No.
마크리스트의마크 1 에서선택한마크번호에대응합니다 .
•
마크명
어떤마크를나타내는지임의의마크명을입력합니다 .
•
마크타입
드롭다운리스트에서배드마크를선택합니다 .
7
마크 파라미터를 설정합니다 .
B. 조명타입
Step8 에서[ 조명리스트 ] 버튼을눌러서 ,마크가선명하게구분되는조명화상을선택합니다 .
C. 표면타입
드롭다운리스트의「반사체」「비반사체」중에서선택합니다 .
D. 마크검출 범위
마크를검출하는사이즈를설정합니다 .
E,F. 휘도 Gain, Offset
기판상의마크가선명하게보이도록설정해주십시오 .
•
휘도Gain 은마크를인식하기쉽도록하기위해 ,마크를보다밝게비치도록조정합니다 .
•
휘도Offset 은마크를강조하기위해 ,전체를어둡게비치도록조정합니다 .
I. 경계값
Step10 에서경계값설정을실행하면자동적으로설정됩니다 .
8
[ 조명리스트 ] 버튼을 눌러서 명료한 화상을 선택합니다 .
[ 조명리스트 ] 버튼을누르면「화상리스트」화면이표시되므로 ,그중에서마크가명료하게보이는화상
을선택하고 ,[ 세팅 ] 버튼을눌러주십시오 .세팅이완료되면「배드마크」화면으로되돌아갑니다 .
참고
「화상 리스트」화면의 조명으로 배드마크를 명료하게 식별할 수 없을 경우에는 ,「CUSTOM」조명을 사용할 수가 있습니다 .
설정방법에 관해서는 ,「5.2 배드마크 CUSTOM 조명의 설정」을 참조해 주십시오 .
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[ 경계값 ] 버튼을 누릅니다 .
[ 경계값 ] 버튼을눌러서 ,「BadMarkPochi」화면을표시합니다 .
0
경계값을 설정합니다 .
「Bad Mark Pochi」画面
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1. 화면상의배드마크를클릭해서 ,마크가빨간테두리내에들어가도록카메라축을이동시킵니다 .
2. [ 검출 ] 버튼을누릅니다 .배드마크가있을때의휘도값이표시됩니다 .
3. 배드마크가없는위치를클릭해서 ,배드마크가없는위치로카메라를이동시킵니다 .
4. [ 미검출 ] 버튼을누릅니다 .배드마크가없을때의휘도값이표시됩니다 .
5. 양쪽휘도값의중간값이경계값으로서세팅됩니다 .
6. [OK] 버튼을눌러서경계값을검사데이터에설정합니다 .[Cancel] 버튼을누르면설정이취소됩니
다.
q
테스트를 실행합니다 .
[ 테스트 ] 버튼을눌러서 ,정확하게검출되는지확인해주십시오 .
참고
마크 인식좌표가 마크화면의 좌상에 표시됩니다 .
w
[ 저장 ] 버튼을 눌러서 , 검사데이터를 저장합니다 .