FX-2操作手册.pdf - 第267页
操作手册Ⅱ ④ 请选择标记的形状。 标记的形状将被自动判别。 判别结果有误时， 请用 HOD 的↑键、↓键 (X 、 Y 移动上下箭头 键 ) 选择正确的标记。 [＊] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] ＰＲ ⑤ 请进行检测框的示教。 完成④的操作后， 画面中心 ( 默认窗口 ) 会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。 要改变检测 框时，请执行④的步骤。 按与刻度框同…
操作手册Ⅱ
※当监视器画面上没有想示教的图案时，请确认输入的坐标是否正确。
※对于陶瓷基板标记(标记为白色)，确认后请再次按下“CAMERA”。在此按摄像机
键，可切换极性（对比度）。
③ 请设置检测框。
按照上面、左面、下面及右面的顺序，利用上下左右箭头键(使用 FAST
键改变检测框的
移动速度)来调整、输入检测框。
此时，将自动识别标记，并获的校正所需数据。
自动获得标记周围的干扰隔离级别，并显示在监视器上。
使用 HOD 的↑键、↓键(XY 移动上下箭头键)进行调整,使标记清晰可见，把周围的干扰降低到最低。
调整结束后请按 ENTER 键。
显示摄像机图形和长方形的框。
首先设置上面及左面的刻度框。
请调整至与标记的上面及左面一致。
调整完成后按 ENTER 键。
同样的，设置下面及右面的刻度框。
调整完成后按 ENTER 键。
3-91
操作手册Ⅱ
④ 请选择标记的形状。
标记的形状将被自动判别。判别结果有误时，请用HOD的↑键、↓键(X、Y移动上下箭头
键)选择正确的标记。
[＊]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]
[ ]ＰＲ
⑤ 请进行检测框的示教。
完成④的操作后，画面中心(默认窗口)会自动显示标记尺寸 1.5 倍的标记。要改变检测
框时，请执行④的步骤。
按与刻度框同样的方式来设置检测框，
设置的方法与刻度框相同。
完成调整后，按 ENTER 键。
3-92
操作手册Ⅱ
⑥ 示教结束后，显示提示，问是否注册到标记数据库
图 3-9-13 基板标记示教(2)
要把示教数据注册到标记数据库时，请输入注册名称，然后按下<新建>按钮。
要与已经注册的示教数据进行替换时,请输入替换的名称，将光标移至注册区域想要替换的
数据所在行，然后按下<覆盖>按钮。
不将示教数据注册到标记数据库中时，请按下<取消>按钮。
至此，以识别为目的的示教操作结束。
3-93