NPM服务手册 - 第4页
NPM 服务手册 EN1SCC-02-020-F0 1 EN1SCC-02-020-F0 目 录 1. 关于本书的使用方法 ･･･････････････････････････････････････････ 1-1 1.1. 关于本书的使用方法 ...............................................................................................…
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EN1SCC-02-020-F0
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目录
1. 关于本书的使用方法
･･･････････････････････････････････････････
1-1
1.1. 关于本书的使用方法 ............................................................................................... 1.1-1
1.1.1 机密管理 ......................................................................................................... 1.1-1
1.1.2 本书的使用方法............................................................................................... 1.1-1
1.1.3 管理编号 ......................................................................................................... 1.1-1
1.1.4 正文中的表示方法 ........................................................................................... 1.1-3
2. 安装
･･･････････････････････････････････････････････････････････
2-1
2.1. 安装 ........................................................................................................................ 2.1-1
2.1.1 安装确认检查 .................................................................................................. 2.1-1
2.2. 空气压力的设定 ...................................................................................................... 2.2-1
2.2.1 主空气压力的调整 ........................................................................................... 2.2-1
2.2.2 真空破坏压力调整 ........................................................................................... 2.2-3
3. 准备器材
･･････････････････････････････････････････････････････
3-1
3.1. 专用治具工具一览................................................................................................... 3.1-1
3.2. 市售治具和工具一览表 ........................................................................................... 3.2-1
4. 维护指南 (机械)
･･･････････････････････････････････････････････
4-1
4.1. 调整基准值 ............................................................................................................. 4.1-1
4.2. 搬送传送带和基板支架 (单轨传送带) .................................................................... 4.2-1
4.2.1 搬送导轨宽度调整 ........................................................................................... 4.2-1
4.2.2 搬送轨道的高度和平面度 ................................................................................ 4.2-2
4.2.3 搬送轨道的宽度和平行度 ................................................................................ 4.2-4
4.2.4 搬送部电机的交换 ........................................................................................... 4.2-6
4.2.5 基板检测传感器的设定 .................................................................................... 4.2-7
4.2.6 基板支架装置的拆卸和安装............................................................................. 4.2-9
4.2.7 支撑电机和滚珠丝杠的交换........................................................................... 4.2-12
4.2.8 支撑板的高度和平面度 .................................................................................. 4.2-15
4.3. XY 轴驱动关系........................................................................................................4.3-1
4.3.1 线性刻度的调整............................................................................................... 4.3-1
4.3.2 XY 原点调整....................................................................................................4.3-3
4.3.3 Y 轴干涉 PH 的调整 ........................................................................................ 4.3-7
4.3.4 电缆支架的交换............................................................................................... 4.3-8
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4.3.5 线性导轨的交换 .............................................................................................4.3-12
4.3.6 线性电机的交换 .............................................................................................4.3-18
4.4. 头装置关系..............................................................................................................4.4-1
4.4.1 头装置的拆卸和安装 ........................................................................................4.4-1
4.4.2 头照相机的卸下和安装 ........................................................................................4.4-3
4.4.3 抽屉式连接器的使用方法 .................................................................................4.4-4
4.5. 12 吸嘴头 ................................................................................................................4.5-1
4.5.1 Z 轴电机的交换................................................................................................4.5-1
4.5.2 滚珠花键的交换 ...............................................................................................4.5-4
4.5.3 θ电机和皮带的交换..........................................................................................4.5-8
4.6. 8 吸嘴头 ..................................................................................................................4.6-1
4.6.1 Z 轴电机的交换................................................................................................4.6-1
4.6.2 滚珠花键的交换 ...............................................................................................4.6-6
4.6.3 θ电机和皮带的交换........................................................................................4.6-12
4.7. 2 吸嘴头 ..................................................................................................................4.7-1
4.7.1 头装置的交换 (θ部一套)..................................................................................4.7-1
4.7.2 吸嘴轴的交换...................................................................................................4.7-3
4.7.3 θ轴电机的交换 (2 吸嘴类型)............................................................................4.7-7
4.7.4 Z 电机的交换 .................................................................................................4.7-10
4.8. 交换台车部..............................................................................................................4.8-1
4.8.1 交换台车驱动装置............................................................................................4.8-1
4.8.2 交换台车的连接 ...............................................................................................4.8-4
4.8.3 编带浮起检测传感器 ........................................................................................4.8-5
4.8.4 固定刀和可动刀的交换.....................................................................................4.8-6
4.9. 吸嘴交换器部 ..........................................................................................................4.9-1
4.9.1 吸头选购件驱动装置 ........................................................................................4.9-1
4.10. 传感器关系............................................................................................................4.10-1
4.10.1 生产线照相机.................................................................................................4.10-1
4.11. 选购件装置............................................................................................................4.11-1
4.11.1 托盘料架的连接 .............................................................................................4.11-1
4.11.2 单轨传送带站.................................................................................................4.11-6
4.11.3 3D 传感器 ......................................................................................................4.11-8
4.11.4 垂直厚度传感器 .............................................................................................4.11-9
4.11.5 双轨传送带 ..................................................................................................4.11-10
4.11.6 基板支架装置 (双轨传送带).........................................................................4.11-18
4.11.7 双轨传送带站...............................................................................................4.11-25