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NPM 服务手册 4.1 调整基准值 EN1SCC-83-010-C0 4.1-4
NPM
服务手册
4.1 调整基准值
EN1SCC-83-010-C0
4.1-3
双轨传送带规格
1.
装置 确认项目 基准值 参照项目
轨道 1 导轨轨道平行度 0.02 mm 以下
轨道 2 导轨轨道平行度 0.02 mm 以下
轨道 1 宽度调整同步传送带张力
20 ± 3 Hz
轨道 2 宽度调整同步传送带张力
20 ± 3 Hz
搬送轨道的高度
223 ± 0.05 mm
搬送轨道的平面度
223 ± 0.05 mm
夹具全长
66.5 ± 0.02 mm
夹具部螺栓长度
17.5 mm
架与导轨的高低差
1.7 ± 0.1 mm
轨道宽度的偏差 0.2 mm 以下
单轨模式切换检测挡板螺栓长度
15.1 mm
轨道 1 双轨原点时轨道宽度
216.5 + 0.3 / 0 mm
轨道 1 单轨原点时轨道宽度
460.5 + 0.3 / 0 mm
轨道 2 双轨原点时轨道宽度
241+ 0.3 / 0 mm
单轨原点检测挡板螺栓长度
27.2 mm
轨道 1/2 最小轨道宽度
46 ~ 49 mm
轨道 1 最小轨道宽度止动螺栓长度
63.9 ± 0.2 mm
轨道 2 最小轨道宽度止动螺栓长度
54.9 ± 0.2 mm
轨道 1 双轨时最大轨道宽度
217 ~ 228 mm
轨道 1 单轨时最大轨道宽度
461 ~ 462.5 mm
轨道 2 双轨时最大轨道宽度
242 ~ 244 mm
轨道 1 最大轨道宽度止动螺栓长度
10.6 ± 0.2 mm
搬送轨道部
轨道 2 最大轨道宽度止动螺栓长度
16.1 ± 0.2 mm
4.11.5
支撑板高度
117.5 ± 0.05 mm
支撑板平面度 0.05 mm 以下
支撑板与支撑块的高低差
3.6 ± 0.05 mm
支撑块平面度 0.05 mm 以下
基板支架上升时间 (从速度控制旋钮闭的位置向
打开方向转动 3 周)
0.9 s
基板支架部
基板支架下降时间 (从速度控制旋钮闭的位置向
打开方向转动 3 周)
1.1 s
4.11.6
搬送轨道的高度
157 ± 0.5 mm
搬送轨道的平面度 0.1 mm 以下
架与导轨的高低差
2.8 + 0.1/0 mm
固定轨道之间的间距
266 ± 0.1 mm
轨道 1 双轨时原点时轨道宽度
216.5 + 0.2 / 0 mm
轨道 1 双轨时最大轨道宽度
218 ± 0.5 mm
轨道 1 双轨时最大轨道宽度
止动螺栓长度
12.1 mm
轨道 1 双轨时最小轨道宽度
47 ± 0.5 mm
轨道 1 双轨时最小轨道宽度
止动螺栓长度
70.4 mm
轨道 2 原点轨道宽度
216.5 + 0.2 / 0 mm
轨道 2 最大轨道宽度
257.5 ± 0.5 mm
轨道 2 最大轨道宽度止动螺栓长度
61.1 mm
轨道 2 最小轨道宽度
47 ± 0.5 mm
站传送带部
轨道 2 最大轨道宽度止动螺栓长度
76.4 mm
4.11.7
NPM
服务手册
4.1 调整基准值
EN1SCC-83-010-C0
4.1-4
NPM
服务手册
4.2 搬送传送带和基板支架 (单轨传送带)
EN1SCC-83-020-C0
4.2-1
4.2. 搬送传送带和基板支架 (单轨传送带)
EN1SCC-83-020-C0
4.2.1 搬送导轨宽度调整
Unit No. N610070183AA
4.2.1 搬送导轨宽度调整
轨道宽度调整部的尺寸
轨道宽度调整同步皮带
=使用治具=
超声波张力计 : N510008902AA
跨距
544 mm
宽度
9.4 mm
质量
0.209 g/cm
2
皮带张力
20 ± 3 Hz
调整销
调整销
调整销
基准侧 LM 导轨的真直度
调整销
从动侧 LM 导轨的真直度
544
162±0.05
223±0.1
67
LM 导轨上面
滚珠丝杠 CL
48.5±0.02
LM 导轨端面 滚珠丝杠 CL
7.5
±
0.02
测量点