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1 OM-1682 1. 概 要 1 101-001 1. 概 要 デュアル搬送モード（搬送レーンを 2 列使用する搬送）において、基板寸 法 (Y 方向）が 250mm まで同時生産ができます。 搬送仕様は、SMEMA 搬送基準に準拠していません。 2. 装置概観図 ⵝ⟎ᚻ೨ A ࡦ B ࡦ Fig. 1
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目次
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目 次
ページ
1101-001
15. 回路図 ................................................... 39
15.1 エア配管図および実装図 ...............................
39
コンベア ( エア配管図 ) .................................. 39
コンベア ( 実装図 ) ...................................... 40
15.2 センサ負荷配置図 ..................................... 41
コンベア部レイアウト ( 外側：A レーン ) ................... 41
コンベア部レイアウト ( 外側：B レーン ) ................... 42
コンベア部レイアウト ( 内側：A レーン ) ................... 43
コンベア部レイアウト ( 内側：B レーン ) ................... 44
15.3 部品配置図 ........................................... 45
コンベア部レイアウト .................................... 45
15.4 電気回路図 ........................................... 46
コンベア M 回路図 (1) .................................... 46
コンベア M 回路図
(2) .................................... 47
コンベア M 回路図 (3) .................................... 48
コンベア M 回路図 (4) .................................... 49
コンベア M 回路図 (5) .................................... 50
コンベア M 回路図 (6) .................................... 51
コンベア M 回路図 (7) .................................... 52
コンベア M 回路図 (8) .................................... 53
コンベア M 回路図 (9) .................................... 54
コンベア M 回路図 (10) ................................... 55
U08 I/O P.C.B STLT CNVR(L) .............................. 56
U08 I/O P.C.B STLT CNVR(R) .............................. 57
15.5 ケーブル接続図 ....................................... 58
デュアル搬送配線接続図 1 ................................ 58
デュアル搬送配線接続図 2 ................................ 59
16. 仕 様 ................................................... 60
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1. 概 要
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1. 概 要
デュアル搬送モード（搬送レーンを 2 列使用する搬送）において、基板寸
法 (Y 方向）が 250mm まで同時生産ができます。
搬送仕様は、SMEMA 搬送基準に準拠していません。
2. 装置概観図
ⵝ⟎ᚻ೨
A
ࡦ
B
ࡦ
Fig. 1
2
OM-1682
3. 生産運転
生産中の機種 ( パターンプログラム ) 名や生産基板枚数などの現在の運転
状態や生産状況を示す情報、基板の生産仕上がり予想、吸着異常発生など
による稼働率低下予想などの情報を表示します。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“2
巻1 章2.1ローカル画面”を参照してください。
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Fig. 2 生産運転
画面展開
3. 生産運転
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