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14 OM-1682 7.1 基板移載と位置決め状態の確認 “生産運転”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確 認します。 手順 (1) “画面展開”に従い、 “基板移載”画面を表示させる。 Fig. 15 (2) 前工程より基板移載と位置決め状態の確認をするレーンに基板を搬 入する。 (3) イメージ表示されている位置決めコンベア 1 のブロックボタンを押 し、10 秒以内に操作パネルの[START]…
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7. 基板移戴
コンベア上の各レーンの各ブロックにある基板を次のブロックへ移
動させることができます。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“2 巻
6 章6.基板移載”を参照してください。
[1]
[2] [2]
[2] [2]
Fig. 14 基板移載
[1] コンベアイメージ表示部
イメージ表示されているコンベアの各レーン、各ブロックはボタン
になっています。
コンベアブロックのボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの[START]
ボタンを押すとその位置まで基板が移戴されます。
[2] 基板位置決め AL、基板位置決め BL、
基板位置決め AR、基板位置決め BR
各レーン、各ブロックの基板位置決めを行います。
[ 実行 ]ボタンを押し、10
秒以内に操作パネルの [START]ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが上昇し、基板が位置決めさ
れます。
[ 解除 ]ボタンを押し、10 秒以内に操作パネルの [START]ボタンを
押すと、選択したバックアップベースが下降し、基板が位置決めが
解除されます。
画面展開
7. 基板移載
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7.1 基板移載と位置決め状態の確認
“生産運転”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確
認します。
手順
(1)“画面展開”に従い、“基板移載”画面を表示させる。
Fig. 15
(2)前工程より基板移載と位置決め状態の確認をするレーンに基板を搬
入する。
(3)イメージ表示されている位置決めコンベア 1 のブロックボタンを押
し、10
秒以内に操作パネルの[START]
ボタンを押し、基板を移載す
る。
(4)基板が正常に移載でき、移載時に引っかかりや落下しないことを確
認する。
(5)“基板位置決め L”の[
実行 ]ボタンを押し、10 秒以内に操作パネ
ルの[START]ボタンを押す。
( バックアップベースが上昇します。)
(6)カバーロックスイッチを押し、スイッチを消灯させる。
( 透明カバーのロックが解除されます。)
7.1 基板移載と位置決め状態の確認
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(7)透明カバーを開く。
注意
モータなどの負荷電源は OFF の状態ですが、装置内に手を
入れる段取り作業ですので、安全には十分注意してくださ
い。
(8)基板を軽く指で押し、バックアップピンの位置に問題がないことを
確認する。
(9)透明カバーを閉じる。
(10)カバーロックスイッチを押し、スイッチを点灯させる。
7.1 基板移載と位置決め状態の確認
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