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15 OM-1682 (7) 透明カバーを開く。 注意 モータなどの負荷電源は OFF の状態ですが、装置内に手を 入れる段取り作業ですので、安全には十分注意してくださ い。 (8) 基板を軽く指で押し、バックアップピンの位置に問題がないことを 確認する。 (9) 透明カバーを閉じる。 (10) カバーロックスイッチを押し、スイッチを点灯させる。 7.1 基板移載と位置決め状態の確認 1 101-001
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7.1 基板移載と位置決め状態の確認
“生産運転”メニューの“基板移載”画面で基板移載と位置決め状態を確
認します。
手順
(1)“画面展開”に従い、“基板移載”画面を表示させる。
Fig. 15
(2)前工程より基板移載と位置決め状態の確認をするレーンに基板を搬
入する。
(3)イメージ表示されている位置決めコンベア 1 のブロックボタンを押
し、10
秒以内に操作パネルの[START]
ボタンを押し、基板を移載す
る。
(4)基板が正常に移載でき、移載時に引っかかりや落下しないことを確
認する。
(5)“基板位置決め L”の[
実行 ]ボタンを押し、10 秒以内に操作パネ
ルの[START]ボタンを押す。
( バックアップベースが上昇します。)
(6)カバーロックスイッチを押し、スイッチを消灯させる。
( 透明カバーのロックが解除されます。)
7.1 基板移載と位置決め状態の確認
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(7)透明カバーを開く。
注意
モータなどの負荷電源は OFF の状態ですが、装置内に手を
入れる段取り作業ですので、安全には十分注意してくださ
い。
(8)基板を軽く指で押し、バックアップピンの位置に問題がないことを
確認する。
(9)透明カバーを閉じる。
(10)カバーロックスイッチを押し、スイッチを点灯させる。
7.1 基板移載と位置決め状態の確認
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8. 生産枚数設定
各レーンの生産枚数の設定を行います。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“2
巻6 章8.生産枚数”を参照してください。
[1]
Fig. 16 生産枚数
[1] 設定数 ( 枚 )
A レーン、B レーン
基板生産枚数停止で停止したい生産枚数設定します。
ノート
設定した枚数は、“生産運転”画面の“生産枚数”にも表示されます。
画面展開
8. 生産枚数設定
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