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22 OM-1682 12. 装置システム 1 101-001 12. 装置システム Fig. 22 オフセットデータ 注 意 装置出荷時に調整、設定されていますのでむやみに変更しないでくださ い。 画面展開
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OM-1682
11.2 基板ストッパ
各レーン、各ブロックごとの基板ストッパに対する調整を行います。
デュアル搬送対応以外の説明については、本体取扱説明書
SIGMA-G5
“3
巻1 章4.3.2基板ストッパ”を参照してください。
[1]
Fig. 21 基板ストッパ
[1] ブロック選択ボタン
操作を行う基板ストッパのあるレーンのブロックを選択します。
11.2 基板ストッパ
1101-001
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OM-1682
12. 装置システム
1101-001
12. 装置システム
Fig. 22 オフセットデータ
注 意
装置出荷時に調整、設定されていますのでむやみに変更しないでくださ
い。
画面展開
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OM-1682
12.1 シュートレベル
1101-001
12.1 シュートレベル
[1]
Fig. 23 シュートレベル
[1] シュートレベル
A レーン、B レーン [mm]
シングルモードで、サイズが 290mm を超える場合、レーン間の位置
決め高さの差を調整するためのオフセットです。
A レーンシュート上面
基 板
(-)
(+)
バックアップピン
バックアップベース
差分
A-BL B-BL
B レーンシュート上面
基 板
2 クランプ
原点
Fig. 24
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