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（1 -4 ） *3 [ 指定ヘッド / ノズル出し ] ボタンを選択し、 作動 [ON] ボタ ンを押した後、 2 秒以内に操作パネルの [ENABLE] ボタンを押 してください。 ノズルが、 取外しやすい位置 （装置の手前側） に回転します。 任意のヘッドのノズルを取外したい場合は、 任意の [ ヘッド #] ボタンを押します。 （1 -5 ） [OPERATION] スイッチは、 “ SETUP ”側にしてください。 前面操作パ…
1.4.41.4.4
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吸着ノズルの取外しおよび取付け吸着ノズルの取外しおよび取付け
吸着ノズルの取外しおよび取付け吸着ノズルの取外しおよび取付け
吸着ノズルの取外しおよび取付け
吸着ノズルの取外しおよび取付けは、操作電源“入り”の状
態での作業となります。
危険ですので、作業は、必ず、1 人で行ってください。
吸着ノズルの取外し、取付け前には、その作業か所の下部にウエ
スをしいてください。
吸着ノズルが落下すると紛失する原因となります。
（1）吸着ノズルの取外し
（1-1）“ユニット調整”サブメニュー → “ヘッド/ ノズル”タブ
→ “ノズル清掃”タブシートを表示します。
Fig.4A64 “ノズル清掃”タブシート
（1-2）*4［XY テーブル待避]ボタンを選択し、作動[ON]ボタンを押
した後、 2秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタンを押してく
ださい。
XY テーブルが待避します。
（1-3）*1[全ヘッド]ボタンと、取外したい*2[ノズル#]ボタンを指
定してください。
1.4 メンテナンス方法
0507-003 1-49 AHL01JTRP
注意
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*4
*3
*5
*6
*7
*1
*2
*8
（1-4）*3[指定ヘッド/ノズル出し]ボタンを選択し、作動[ON]ボタ
ンを押した後、 2秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタンを押
してください。
ノズルが、取外しやすい位置（装置の手前側）に回転します。
任意のヘッドのノズルを取外したい場合は、任意の
[ヘッド #]ボタンを押します。
（1-5）[OPERATION]スイッチは、“SETUP”側にしてください。
前面操作パネルの[LOCK]ランプが点灯していることを確認し
てください。
（1-6）正面扉を開きます。
(1-7) ノズル外し治具を下から軽く押し上げて吸着ノズルにセッ
トします。
吸着ノズルの2面取り面にフックが掛かるように正しくセッ
トしてください。
(a) 吸着ノズルを取外すとき、拡散板にキズを付けな
いように注意してください。
ノズル外し冶具を回転させながら外すと、拡散板
を傷つける場合があります。
(b) ノズル外し治具は、ノズルタイプ 031(φ 6 ノズル)
には使用できません。手で外してください。
1.4 メンテナンス方法
0507-002 1-50 AHL01JTRP
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Fig.4A65
Fig.4A65-1
（1-8）ノズル外し治具を下に引くことにより、吸着ノズルが外せます。
ノズル上下動作部にミニチュアストロークベアリングを
使用しています。
ノズル上下動作部は、シャフト部、リテーナケージ部、外
筒部で構成されています。
誤って分解した場合でも、これらの組み合せを厳守して
ください。
ミニチュアストロークベアリング、シャフト部は外さな
いで、ノズルを取外してください。
（1-9）
*8*8
*8*8
*8[次ノズル]ボタンを押し、次に取外すノズル#を選択して
ください。
（1-10）
*7*7
*7*7
*7[ヘッドn]ボタンを選択し、作動[ON]ボタンを押した後、
2秒以内に操作パネルの[ENABLE]ボタンを押してください。
同じヘッドのノズル切替えができます。
手順(1-7)からを繰返し、同一ヘッドの全ノズルを取外しま
す。
（1-11）*5[ロータリータレット 1 ピッチ正転]ボタンを選択し、作
動[ON]ボタンを押した後、 2秒以内に操作パネルの[ENABLE]
ボタンを押してください。
ロータリータレットが回転し、次のヘッドがノズル取外し
位置に移動します。
手順(1-7)からを繰返し、全ヘッドのノズルを取外します。
ノズルを取外さずにロータリータレットを回転させ
てしまった場合は、
*6*6
*6*6
*6[ロータリータレット 1 ピッ
チ逆転]ボタンを選択し、作動［ON］ボタンを押す
と、ロータリータレットが 1 ピッチ逆転します。
1.4 メンテナンス方法
0507-003 1-51 AHL01JTRP
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Fig.4A65-2
外した吸着ノズルが帯磁しないように取扱いに注意して
ください。
磁気を帯びると、吸着および装着時にトラブルが
生じます。
注意
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