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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 06057 1 Y テーブルサーボ 過負荷（瞬間最大負荷） 060572 Y テーブルサーボ 過負荷（連続最大負荷） 060573 Y テーブルサーボ DB 過負荷 060574 Y テーブルサーボ 突入抵抗過負荷 06057a Y テーブルサーボ ヒートシンク過熱 06058 1 Y テーブルサー…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
060401 Y テーブルオーバラン プラス（+）オーバランを検出しました。
060402 Y テーブルオーバラン マイナス（-）オーバランを検出しました。
( 要因 1) センサの光ビームが遮光されています。
( 要因 2) 遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光されています。
( 復帰方法 1) 電源を切り、XY テーブルを作業しやすい位置にしてください。
遮光板、または、センサの取り付けの緩みを締め直してください。
再度、電源を入れ原点復帰を行ってください。
( 復帰方法 2) センサの汚れを拭き取り、再度、全軸の原点復帰を行ってください。
060502 Y テーブルサーボ パラメータ破壊。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060503 Y テーブルサーボ 主回路検出部異常
060504 Y テーブルサーボ パラメータ設定異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060505 Y テーブルサーボ 組み合わせエラー
060509 Y テーブルサーボ 分周設定異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
06050a Y テーブルサーボ エンコーダタイプアンマッチ。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060510Yテーブルサーボ 過電流またはヒートシンク過熱。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060530 Y テーブルサーボ 回生異常
060532 Y テーブルサーボ 回生過負荷
060533 Y テーブルサーボ 主回路配線エラー
060540 Y テーブルサーボ 過電圧
060541 Y テーブルサーボ 不足電圧
060551 Y テーブルサーボ 過速度
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-002 2-52 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
060571 Y テーブルサーボ 過負荷（瞬間最大負荷）
060572 Y テーブルサーボ 過負荷（連続最大負荷）
060573 Y テーブルサーボ DB 過負荷
060574 Y テーブルサーボ 突入抵抗過負荷
06057a Y テーブルサーボ ヒートシンク過熱
060581 Y テーブルサーボ エンコーダバックアップアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060582 Y テーブルサーボ エンコーダサムチェックアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060583 Y テーブルサーボ エンコーダバッテリアラーム
060584 Y テーブルサーボ エンコーダデータアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
060585 Y テーブルサーボ エンコーダオーバスピード
060586 Y テーブルサーボ エンコーダオーバヒート
0605b1 Y テーブルサーボ 速度指令 A/D 異常
0605b2 Y テーブルサーボ トルク指令 A/D 異常
0605b3 Y テーブルサーボ 電流検出異常
0605b6 Y テーブルサーボ ゲートアレイ異常
0605bf Y テーブルサーボ システムアラーム。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605c1 Y テーブルサーボ 暴走防止検出
0605c6 Y テーブルサーボ フルクローズドループ A,B 相断線
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-002 2-53 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0605c7 Y テーブルサーボ フルクローズドループ C 相断線
0605c8 Y テーブルサーボ エンコーダクリア異常マルチターンリミット。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605c9 Y テーブルサーボ エンコーダ通信異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605ca Y テーブルサーボ エンコーダパラメータ異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605cb Y テーブルサーボ エンコーダパック異常。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605cc Y テーブルサーボ マルチターンリミット値不一致
0605d0 Y テーブルサーボ 位置偏差過大
0605e0 Y テーブルサーボ オプションなし
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605e1 Y テーブルサーボ オプションタイムアウト
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605e2 Y テーブルサーボ オプション WDC 異常
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605e5 Y テーブルサーボ WDT 異常
0605e6 Y テーブルサーボ 通信異常
0605e7 Y テーブルサーボ アプリケーションモジュール異常
0605ea Y テーブルサーボ サーボパック故障
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605eb Y テーブルサーボ サーボパック初期アクセス異常
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
0605ec Y テーブルサーボ サーボパック WDC 異常
0605ed Y テーブルサーボ コマンド実行未完
0605f1 Y テーブルサーボ 電源ライン欠相
0605f5 Y テーブルサーボ モータ線断線
0605f6 Y テーブルサーボ モータ線断線
060590 Y テーブルサーボ 位置偏差過大
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-002 2-54 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法