4OM-993-007 - 第268页
(0f 基板移載 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f0 1 0 1 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。 0f0 1 02 基板移載 原点 XY テーブルシュート下限が検出できませんでした。 （ BPH6 1 ) 0f0 1 03 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。 （ BPH60)…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0e0401 カメラ Y オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。（BPH5）遮 光（ +）
0e0402 カメラ Y オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。（BPH6）遮光（-）
(要因 1) スコープ Y 動作時、センサの光ビームが遮光されました。
(復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、原因を取り除いてください。
全軸を原点復帰してから運転を再開してください。
0e0601 カメラ Y 通信 返信タイムアウト。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-001 2-87-1 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
(0f 基板移載)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0101 基板移載 原点 励磁モニタ信号が検出できませんでした。
0f0102 基板移載 原点 XYテーブルシュート下限が検出できませんでした。（BPH61)
0f0103 基板移載 原点 XY テーブルシュート上限を検出しました。（BPH60)
0f0104 基板移載 原点 基板移載下限が検出できませんでした。（BPH40)
0f0105 基板移載 原点 基板移載上限が検出できませんでした。（BPS1)
0f0106 基板移載 原点 基板移載一般停止が検出できませんでした。
0f0107 基板移載 原点 原点復帰動作が所定時間内に終了しませんでした。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0201 基板移載 タイミング 動作しようとしたときに停止していませんでした。
(要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0301 基板移載 データ 目的値が装置の可動範囲を超えました。
0f0302 基板移載 データ 目的値データに異常がありました。
(要因 1)装置の自己診断によるメッセージです。
(復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-003 2-88 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0401 基板移載 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。(BPH36)
0f0402 基板移載 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。(BPH37)
( 要因 1) センサまたは遮光板が光ビームを遮光しました。
遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光しています。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、前面カバーを開け、手動ステッ
プで基板移載動作を確認してください。
センサまたは遮光板が光ビームを遮光した原因を取り除いてください。
再度、基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0501 基板移載 過負荷 過負荷状態を検出しました。(BPH38/BPH71)
( 要因 1) 基板移載動作中に何かにひっかかり、タイミングベルトがたるみセンサの光ビーム
が遮光しました。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、ひっかかりの原因を取り除いて
基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0601 基板移載 基板検出 移載コンベアからＸＹシュートへの移載に異常がありまし
た。
( 要因 1) 移載コンベアの基板検出が基板移載動作中に、常に基板を検出（基板が残ってい
る）しています。
( 復帰方法 1) [復帰]ボタンを押し異常表示を解除した後、基板が残っている原因を取り除い
てください。
• センサの感度が高すぎる場合、感度を下げてください。
• センサの位置が悪い場合、センサ位置を調整してください。
0507-003 2-89 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法