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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f0602 基板移載 基板検出 XY シュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。 0f0603 基板移載 基板検出 移載コンベアから XY シュートへの移載に異常がありました。 （基板がなくなりました） 0f0604 基板移載 基板検出 移載コンベアから XY シュートへの移載に異常があ…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0401 基板移載 オーバーラン プラス（+）オーバーランを検出しました。(BPH36)
0f0402 基板移載 オーバーラン マイナス（-）オーバーランを検出しました。(BPH37)
( 要因 1) センサまたは遮光板が光ビームを遮光しました。
遮光板に汚れが付着しセンサの光ビームが遮光しています。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、前面カバーを開け、手動ステッ
プで基板移載動作を確認してください。
センサまたは遮光板が光ビームを遮光した原因を取り除いてください。
再度、基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0501 基板移載 過負荷 過負荷状態を検出しました。(BPH38/BPH71)
( 要因 1) 基板移載動作中に何かにひっかかり、タイミングベルトがたるみセンサの光ビーム
が遮光しました。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、ひっかかりの原因を取り除いて
基板移載の原点復帰を行ってください。
0f0601 基板移載 基板検出 移載コンベアからＸＹシュートへの移載に異常がありまし
た。
( 要因 1) 移載コンベアの基板検出が基板移載動作中に、常に基板を検出（基板が残ってい
る）しています。
( 復帰方法 1) [復帰]ボタンを押し異常表示を解除した後、基板が残っている原因を取り除い
てください。
• センサの感度が高すぎる場合、感度を下げてください。
• センサの位置が悪い場合、センサ位置を調整してください。
0507-003 2-89 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0602 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
0f0603 基板移載 基板検出 移載コンベアから XY シュートへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0604 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（XY シュート上に不適切な基板が存在します）
0f0605 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上で基板が停滞しました）
0f0606 基板移載 基板検出 移載コンベアからXYシュートへの移載に異常がありました。
（移載コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0607 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（基板がなくなりました）
0f0608 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（排出コンベア上に不適切な基板が存在します）
0f0609 基板移載 基板検出 XYシュートから排出コンベアへの移載に異常がありました。
（XY シュート上で基板が停滞しました）
0f060a 基板移載 基板検出 XY シュート下降時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060b 基板移載 基板検出 XY シュート下降時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060c 基板移載 基板検出 XY シュート上昇時にシュート上に不適切な基板を検出しま
した。
0f060d 基板移載 基板検出 XY シュート上昇時にシュート上の基板が外れました。
XY テーブル上の基板を確認してください。
0f060e 基板移載 基板検出 XY シュート出入口部に基板を検出した為、XYシュート下降
動作ができません。
XY シュート上の基板を確認してください。
0f060f 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XYシュート内の基板を確認してください。排出基板と取り
込み基板の２枚が XY シュート内に停滞しています。）
0f0610 基板移載 基板検出 ＸＹシュートから排出コンベアへの移載に異常がありまし
た。
（XY シュート内の基板を確認してください。排出基板が XY
シュート出口部に、同時に移載した基板がXY シュート内に
停滞しています。）
( 要因 1) 基板移載動作中に、異常が検出されました。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、表示に従って原因を取り除いて
ください。
0507-003 2-90 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
0507-002 2-91 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0701 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH40)
0f0702 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPS1)
( 要因 1) 生産運転中で基板移載時、トランスファが下降または上昇しないとき、この異常が
発生します。
センサの汚れが考えられます。
( 要因 2) 基板移載上昇時、シリンダが所定の動作（伸縮）ができずセンサが ON しないため
発生します。センサの汚れが考えられます。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、トランスファが下降または上昇
しないときの原因を取り除いてください。
トランスファが下降なたは上昇しても発生する場合、センサの汚れが考えられ
ますので清掃後、トランスファを原点復帰してください。
( 復帰方法 2) センサの汚れを拭き取ってからトランスファを原点復帰してください。
0f0703 基板移載 タイムオーバー XYシュートの下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH61)
0f0704 基板移載 タイムオーバー XYシュートの上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH60)
( 要因 1) XY シュートが下降または上昇しないときに、発生します。
• センサの汚れが考えられます。
• 基板が XY シュートに狭まった。
• 基板の基準穴と外形基準ピンが合わない。
• 基板の基準穴が小さく抜けない。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、異常の原因を取り除いてから原
点復帰してください。