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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 0f0705 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が所定時間内に終了しませんでした。 0f0706 基板移載 タイムオーバー 基板移載戻し動作が所定時間内に終了しませんでした。 ( 要因 1) 生産運転中に基板移載送り動作または戻し動作がしないとこの異常が発生します。 センサの汚れが考えられま…
0507-002 2-91 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0701 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH40)
0f0702 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPS1)
( 要因 1) 生産運転中で基板移載時、トランスファが下降または上昇しないとき、この異常が
発生します。
センサの汚れが考えられます。
( 要因 2) 基板移載上昇時、シリンダが所定の動作（伸縮）ができずセンサが ON しないため
発生します。センサの汚れが考えられます。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、トランスファが下降または上昇
しないときの原因を取り除いてください。
トランスファが下降なたは上昇しても発生する場合、センサの汚れが考えられ
ますので清掃後、トランスファを原点復帰してください。
( 復帰方法 2) センサの汚れを拭き取ってからトランスファを原点復帰してください。
0f0703 基板移載 タイムオーバー XYシュートの下降動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH61)
0f0704 基板移載 タイムオーバー XYシュートの上昇動作が所定時間内に終了しませんでした。
（BPH60)
( 要因 1) XY シュートが下降または上昇しないときに、発生します。
• センサの汚れが考えられます。
• 基板が XY シュートに狭まった。
• 基板の基準穴と外形基準ピンが合わない。
• 基板の基準穴が小さく抜けない。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、異常の原因を取り除いてから原
点復帰してください。
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0705 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が所定時間内に終了しませんでした。
0f0706 基板移載 タイムオーバー 基板移載戻し動作が所定時間内に終了しませんでした。
( 要因 1) 生産運転中に基板移載送り動作または戻し動作がしないとこの異常が発生します。
センサの汚れが考えられます。
( 要因 2) 基板移載ベルトのたるみが考えられます。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、基板移載送り動作または戻し動
作しないときの原因を取り除いてください。
センサの汚れを拭き取ってから原点復帰してください。
( 復帰方法 2) 基板移載ベルトが磨耗しているので交換が必要です。
当社サービスへ連絡してください。
0f0707 基板移載 タイムオーバー 基板移載送り動作が正常に終了しませんでした。
0f0708 基板移載 タイムオーバー 基板移載下降時に上限センサを検出しました。
0f0709 基板移載 タイムオーバー 基板移載上昇時に下限センサを検出しました。
0f070a 基板移載 タイムオーバー XY シュート下降時に上限センサを検出しました。
0f070b 基板移載 タイムオーバー XY シュート上昇時に下限センサを検出しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
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3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
0f0801 基板移載 インターロック 動作しようとしたときにXYテーブルが原点にありませんで
した。
0f0802 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに XY テーブルが動作していました。
0f0803 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが正転していました。
0f0804 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに移載コンベアが逆転していました。
0f0805 基板移載 インターロック 動作しようとしたときに排出コンベアが回転していました。
0f0806 基板移載 インターロック XY テーブル動作中に XY シュート下限が外れました。
(BPH61/BPH70)
0f0807 基板移載 インターロック XY シュート上限を検出しました。(BPH60)
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0f0901 基板移載 通信異常 DDMC ボードからの通信がタイムアウトしました。
0f0902 基板移載 通信異常 DDMC ボード内部で通信エラーが発生しました。
0f0903 基板移載 通信異常 通信データのチェックサムに異常が検出されました。
0f0904 基板移載 通信異常 応答がありません。
0f0905 基板移載 通信異常 ビジー状態です。
0f0906 基板移載 通信異常 実行できないコマンドが発行されました。
0f0907 基板移載 通信異常 PMD からの応答がありません。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
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3.3 異常ID と復帰方法