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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 42030 1 排出コンベア タイムオーバー 後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでした。 420302 排出コンベア タイムオーバー 排出コンベア上で基板が停滞しました。 ( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してくださ…
(42 コンベア)
異常異常
異常異常
異常
IDID
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ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
420101 供給コンベア タイムオーバー 前工程からの基板搬送が所定時間内に終了しませんでした。
420102 供給コンベア タイムオーバー 供給コンベア上で基板が停滞しました。
( 要因 1) コンベア上で基板がひっかかっています。
( 要因 2) 基板が搬送されている途中で、人が基板を抜き取りました。
( 復帰方法 1) コンベア幅の調整不良、基板寸法の違いが考えられます。
コンベア幅の再調整または基板寸法を確認してください。
( 復帰方法 2) 基板を元に戻し、再度、生産を開始してください。
420201 移載コンベア タイムオーバー 移載コンベア上で基板が停滞しました。
( 要因 1) L2 コンベア基板検出が通光 / 遮光していません。
センサに汚れが付着している可能性があります。
( 要因 2) L2 コンベア基板移載検出が不良です。
( 復帰方法 1) 基板検出センサの通光 / 遮光を確認してください。
( 復帰方法 2) 当社サービスへ連絡してください。
420202 移載コンベア タイムオーバー 移載コンベアからの基板搬送が所定時間内に終了しません
でした。
( 要因 1) L1 コンベア基板検出が通光 / 遮光していません。
センサに汚れが付着している可能性があります。
( 要因 2) 供給コンベアタイマー 2 または排出コンベアタイマー 2 の設定値が設定範囲を超え
ています。
( 要因 3) L1 コンベア基板検出センサが不良です。
( 復帰方法 1) L1 コンベア基板検出センサの通光 / 遮光を確認してください。
( 復帰方法 2) 供給コンベアタイマー 2 または排出コンベアタイマー 2 の設定値を正しく設定
しなおしてください。
( 復帰方法 3) 当社サービスへ連絡してください。
420203 移載コンベア タイムオーバー XY シュート上で基板が停滞しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0507-003 2-106 AHL01JTRP
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
420301 排出コンベア タイムオーバー 後工程への基板排出が所定時間内に終了しませんでした。
420302 排出コンベア タイムオーバー 排出コンベア上で基板が停滞しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
420401 供給コンベア 基板検出 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク
搬送信号が切れました。
420402 供給コンベア 基板検出 供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
( 要因 1) 供給コンベア基板検出（出口）を検出前に前工程ワーク搬送信号が切れました。
供給コンベア上に基板が 2 枚あります。
( 復帰方法 1) 基板検出センサ（出口）の位置を調整してください。
基板検出センサ（出口）の不良、交換が必要です。
420501 移載コンベア 基板検出 移載コンベア基板検出（出口）センサーの設定値が不良で
す。
420502 移載コンベア 基板検出 移載コンベア上に基板が 2 枚あります。
420503 移載コンベア 基板検出 移載コンベア入口で基板が停滞しています。
( 要因 1) 生産運転で、基板移載爪まで基板が戻されました。または、基板検出センサから基
板が外れました。
• 基板検出センサの取り付け位置が不良です。
• 基板サイズの X 値が設定範囲を超えています。
( 復帰方法 1) 復帰ボタンで異常表示を解除し、基板移載の原点復帰を行います。
基板検出センサの取り付け位置を調整します。
基板サイズの X 値を正しい値に設定します。
420601 排出コンベア 基板検出 後工程への基板排出が完了する前に後工程ワーク要求信号
が切れました。
420602 排出コンベア 基板検出 排出コンベア上で基板が停滞しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-003 2-107 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
(43 自己診断 1)
異常異常
異常異常
異常
IDID
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ID
異常名 異常名
異常名 異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
430101 ノズル切替え検出 ノズル切替え戻しが正常に機能しませんでした。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
430207 ノズル検出 ノズル検出センサのコントローラからアラーム信号が検出
されました。
430208 ノズル検出 ノズル検出センサのコントローラのストローブ応答があり
ません。
( 要因 1) センサの汚れにより、光ビームの通光 / 遮光ができませんでした。
センサの不良が考えられます。
( 復帰方法 1)［復帰］ボタンを押し異常表示を解除した後、センサに汚れが付着していない
ことを確認してください。
430209 ノズル検出 ノズルが下限より下降しました。（ノズル検出センサ)
( 要因 1) ステーション 10 で使用ノズルが、ローレベルより下がり検出されました。
装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全原点復帰してから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
43020a ノズル検出 ノズルレベルを HIGH レベルに切替えできませんでした。
（ノズル検出センサ）
43020b ノズル検出 ノズルレベルを LOW レベルに切替えできませんでした。
（ノズル検出センサ）
( 要因 1) ステーション10で、ノズル切り替え動作完了時に、ノズルが正常レベル(High/Low
レベル)を検出できませんでした。
(ノズル摺動動作不良)
( 復帰方法 1) 異常内容を確認し、運転を再開してください。
運転を再開しても頻繁に異常発生する場合は、対象ヘッドを調整して摺動動
作を確認してください。
調整方法については、“1 節 1.4.5 ミニチュアストローグベアリングの分解、
清掃および給油”を参照してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-003 2-108 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法