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0507-001 2 - 11 5 - 2 AHL01JTRP 3.3 異常 ID と復帰方法 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 (4) 中央安全扉 ( フィーダキャリッジカバー ) を開け、吸着ミス確認プレートを検 出可能な元の位置へ戻します。 • 吸着ミス確認プレートをテープフィーダのテープ供給方向と平行になる位置 まで戻します…

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異常異常
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説 明説 明
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説 明
430f01 吸着ミス検出 吸着ミス部品を検出しました。フィーダユニットを動作さ
せる前に部品を取り除いてください。
( 要因 1) テープフィーダのテープ搬送面とサプレッサの間に部品を挟み込んでいる状態(部品
が立ってしまう)であります。
(復帰方法1) [復帰]ボタンを押すと以下の“フィーダ装着異常解除操作”画面が表示されます。
      この画面および以下の操作手順に従って復帰してください。
Fig. 4B21-1
(1) 吸着ミス除去作業が必要なテープフィーダのあるフィーダキャリッジ (作業対
象フィーダ) [F1][F2][F3][F4]と移動方向を選択し、[ENABLE] ボタンを押
して作業可能な位置まで移動します。
(2) [非常停止] スイッチを押します。
(3) フィーダ作業エリア安全扉(部品補給部)を開け、対象フィーダを確認しま
す。
対象フィーダの吸着ミス部品を取り除いてください。
[F4]で吸着ミスが起きた場合は、フィーダ作業エリア安全扉へ移動で
きません。
中央安全扉(フィーダキャリッジカバー)を開け、対象フィーダを確認
します。
(次のページへつづく)
3.3 異常ID と復帰方法
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3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
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異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
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説 明
(4) 中央安全扉 (フィーダキャリッジカバー) を開け、吸着ミス確認プレートを検
出可能な元の位置へ戻します。
吸着ミス確認プレートをテープフィーダのテープ供給方向と平行になる位置
まで戻します。
Fig. 4B21-2
(5) “非常停止”状態を復帰します。
[非常停止] スイッチの復帰方法は、本体取扱説明書 “第 1 4 3.1 非常
停止スイッチが押された場合” を参照してください。
431001 インバータアラーム検出 インバータアラーム信号が検出されました。
[シャットダウン処理をしてメインブレーカをOFFしてください。]
( 要因 1) 装置への供給電源が、瞬時停電が発生した場合異常停止します。
( 復帰方法 1)
(1) 異常画面を復帰し、「シャットダウン処理」を行い、電源ブレーカを OFF しま
す。
(2) 10 秒程度間を空けて、再度電源ブレーカを ON して、装置を起動します。
(3) 原点復帰動作を行い、運転を再開してください。
(異常発生時に基板生産中の場合は、Warm スタート操作にて、基板を仕上げて
ください。)
( 復帰方法 2)
「シャットダウン処理」を行い、電源ブレーカの立ち上げ直しをしても、異常が発生
したままで、装置の供給電源周りに問題があり復帰できない場合は、サービスへ連絡
してください。
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(44 自己診断 2)
異常異常
異常異常
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説 明
440101 カム軸位相 カム軸の位相ずれが検出されました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
440201 装着上下 装着上下動作機構またはセンサ(BPH28)に異常があります。
440202 装着上下 ストッパを ON したのに上下動作しました。
440203 装着上下 ストッパを OFF したのに上下動作しませんでした。
( 要因 1) センサの不良、取付調整位置不良です。
センサに汚れが付着し ON/OFF できませんでした。
( 復帰方法 1) センサの汚れを拭き取り、再度、原点復帰してください。
440301 吸着上下 吸着上下動作機構またはセンサ(BPH29)に異常があります。
440302 吸着上下 ストッパを ON したのに上下動作しました。
440303 吸着上下 ストッパを OFF したのに上下動作しませんでした。
( 要因 1) センサの不良、取付調整位置不良です。
センサに汚れが付着し ON/OFF できませんでした。
( 復帰方法 1) センサの汚れを拭き取り、再度、原点復帰してください。
440401 テープ送り テープ送り動作機構またはセンサ(BPH31)に異常があります。
( 要因 1) センサの光ビームが常に遮光または通光です。
( 復帰方法 1)[復帰]ボタンを押し異常表示を解除した後、センサの光ビームが遮光 / 通光
状態か確認してください。
センサの光ビームが遮光 / 通光するか紙片を使用し、反応を確認してくださ
い。
センサに汚れがある場合は、汚れを清掃した後、全軸の原点復帰をしてくだ
さい。
センサは絶対に取り外さないでください。光軸がずれ、タイミングがず
れます。センサを取り外した場合は、当社サービスへ連絡してください。
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3.3 異常ID と復帰方法