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(46 基板認識 ) 異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 460 1 0 1 基板認識 基板認識異常発生 1点 目 46020 1 基板認識 基板認識異常発生 2 点目 46030 1 基板認識 基板認識異常発生 3 点目 46040 1 基板認識 割基板認識 1点 目 46050 1 基板認識 割基板認識 2 点目 46060 1 …
(45 認識通信)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
450101 認識通信異常 認識異常コード仕様参照
450102 認識通信異常 認識通信タイムアウト
450103 認識通信異常 GUI 起動失敗
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
3.3 異常ID と復帰方法
0507-002 2-119 AHL01JTRP
(46 基板認識)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
460101 基板認識 基板認識異常発生 1点目
460201 基板認識 基板認識異常発生 2 点目
460301 基板認識 基板認識異常発生 3 点目
460401 基板認識 割基板認識 1点目
460501 基板認識 割基板認識 2 点目
460601 基板認識 割基板認識 3 点目
460701 基板認識 個々基板認識 1点目
460801 基板認識 個々基板認識 2 点目
460901 基板認識 個々基板認識 3 点目
460a01 基板認識 基板認識テスト
460b01 基板認識 基板認識照明教示
460c01 基板認識コマンド 基板認識コマンド応答異常
( 要因 1) 、( 復帰方法 1) については、“4.3.3 基板認識異常”を参照してください。
460e01 基板認識コマンド ( 再認識 ) 再基板認識による基板位置ズレを検出しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
基板認識再確認結果が指定許可値の範囲外でした。
( 復帰方法 1) 専用画面で検出結果を確認してから XY テーブルにおける基板の位置決め状態
を確認してください。
0507-004 2-120 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
(48 部品認識)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
480101 部品認識 照明切替コマンド発行失敗
480102 部品認識 照明切替コマンドエラー応答
480103 部品認識 照明切替コマンド応答遅れ
480104 部品認識 画像取込コマンド発行失敗
480105 部品認識 画像取込コマンドエラー応答
480106 部品認識 認識実行コマンド発行失敗
480107 部品認識 画像取込コマンド応答遅れ
480108 部品認識 認識実行コマンドエラー応答
480109 部品認識 認識実行コマンドエラー応答（認識遅れ）
48010a 部品認識 認識関連データ転送異常
48010b 部品認識 認識中止コマンド発行失敗
48010c 部品認識 認識中止コマンドエラー応答
48010d 部品認識 認識中止処理タイムアウト
48010e 部品認識 照明切替処理タイムアウト
48010f 部品認識 認識実行応答タイムアウト
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
480110 部品認識 認識イメージ保存対象無し
（カレント NC 内に存在しません）
( 要因 1) イメージ保存対象のデータがありません。対象となる認識イメージデータが発生、
保存されるまで、運転を継続してください。
( 復帰方法 1)
(1) 運転パラメータ設定により、認識イメージの保存機能を再設定してください。
(2) 運転を再開し、イメージ保存の対象となる条件発生まで待ちます。
0507-003 2-121 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法