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異常 異常 異常 異常 異常 ID ID ID ID ID 異常名 異常名 異常名 異常名 異常名 説 明 説 明 説 明 説 明 説 明 4b050 1 XY テーブルシュート ＸＹテーブルシュートが下限にありません。 4b0502 X Y テーブルシュート XY テーブルシュートが上限にありません。 ( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。 ( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。 復帰できな…
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4b030a 操作ミス 排出コンベア上に不適切な基板が存在します。
( 要因 1) 排出コンベア上に不適切な基板が存在します。
( 復帰方法 1) 排出コンベア上の不適切な基板を取り除いて、再度生産を開始してください。
4b030b 操作ミス 供給コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b030c 操作ミス 移載コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b030d 操作ミス 排出コンベア上から適切な基板が取り除かれました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
4b0401 前後工程信号 段取り動作中に前工程ワーク有無信号を検出しました。
前工程側コンベア上の基板を確認してください。
4b0402 前後工程信号 段取り動作中に後工程ワーク有無信号を検出しました。
後工程側コンベア上の基板を確認してください。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-001 2-128-1 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4b0501 XY テーブルシュート ＸＹテーブルシュートが下限にありません。
4b0502 XY テーブルシュート XY テーブルシュートが上限にありません。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 全軸の原点復帰をしてから運転を再開してください。
復帰できない場合は、当社サービスへ連絡してください。
0507-001 2-128-2 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法
(4c 割基板不良検出)
異常異常
異常異常
異常
IDID
IDID
ID
異常名異常名
異常名異常名
異常名
説 明説 明
説 明説 明
説 明
4c0101 全割基板不良 割基板の全てを不良検出しました。（XY テーブル上）
4c0102 全割基板不良 割基板の全てを不良検出しました。（移載コンベア上）
4c0201 割基板不良検出情報 該当する基板の割基板不良検出情報がありません。
（移載コンベア上）
4c0202 割基板不良検出情報 該当する基板の割基板不良検出情報がありません。
（XY テーブル上）
4c0203 割基板不良検出情報 割基板不良検出情報に異常があります。
4c0301 割基板不良検出 割基板生産枚数が指定枚数に達しました。
( 要因 1) 装置の自己診断によるメッセージです。
( 復帰方法 1) 内容を確認し、復帰してください。
0507-003 2-129 AHL01JTRP
3.3 異常ID と復帰方法