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安全 - 22 AHL01J-P 安全にお取扱いいただくために XY テーブル基板検出センサ XY テーブル上で基板位置決めが外れたときに、装置の運転を停止します。 センサ名 記 号 装 置 処 置 XY テーブル基板検出（固定） BPH47 XY テーブル基板検出（可動） BPH49 Fig. 1 X24 XY テーブル基板検出センサ配置図 Table 1 X7 左記センサの内 1 つでも異常を検出した場 合は、次のように処置されます…
安全 -21 AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
フィーダ軸衝突異常検出センサ
フィーダ軸が衝突したときに、装置の運転を停止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
キャリッジ衝突 12 BPH57
キャリッジ衝突 23 BPH58
キャリッジ衝突 34 BPH59
上面図
Fig.1X23 フィーダ軸衝突異常検出センサ
Table 1X6
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• フィーダキャリッジ 1、2、3、4 の駆動電
源が遮断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
（ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です）
$2*
$2*
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0411-001
安全 -22 AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
XY テーブル基板検出センサ
XY テーブル上で基板位置決めが外れたときに、装置の運転を停止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
XY テーブル基板検出（固定） BPH47
XY テーブル基板検出（可動） BPH49
Fig.1X24 XY テーブル基板検出センサ配置図
Table 1X7
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• XY テーブルの駆動電源が遮断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
（ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です）
$2*
$2*
0411-001
AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
安全 -230411-001
4. 本装置の警告ラベル
本装置には、以下の警告ラベルを貼付けしています。警告ラベルをよく読み、
内容を現物で確認してください。注意事項をご理解のうえ、安全には十分お気
をつけてください。
これらの警告ラベルは点検して、安全な距離からよく読めるように清掃・維持
してください。
警告ラベルが劣化して読めなくなったときは、当社サービス部門に連絡して、
新しいラベルと交換してください。