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AHL01J-P 安全にお取扱いいただくために 安全 - 23 041 1-001 4. 本装置の警告ラベル 本装置には、以下の警告ラベルを貼付けしています。警告ラベルをよく読み、 内容を現物で確認してください。注意事項をご理解のうえ、安全には十分お気 をつけてください。 これらの警告ラベルは点検して、安全な距離からよく読めるように清掃・維持 してください。 警告ラベルが劣化して読めなくなったときは、当社サービス部門に連絡して、 新しい…
安全 -22 AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
XY テーブル基板検出センサ
XY テーブル上で基板位置決めが外れたときに、装置の運転を停止します。
センサ名 記 号 装 置 処 置
XY テーブル基板検出（固定） BPH47
XY テーブル基板検出（可動） BPH49
Fig.1X24 XY テーブル基板検出センサ配置図
Table 1X7
左記センサの内 1 つでも異常を検出した場
合は、次のように処置されます。
• XY テーブルの駆動電源が遮断されます。
• ロータリータレットは、サイクル停止し
ます。
（ロータリータレットの角度が 0 度、また
は、360 度での停止です）
$2*
$2*
0411-001
AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
安全 -230411-001
4. 本装置の警告ラベル
本装置には、以下の警告ラベルを貼付けしています。警告ラベルをよく読み、
内容を現物で確認してください。注意事項をご理解のうえ、安全には十分お気
をつけてください。
これらの警告ラベルは点検して、安全な距離からよく読めるように清掃・維持
してください。
警告ラベルが劣化して読めなくなったときは、当社サービス部門に連絡して、
新しいラベルと交換してください。
AHL01J-P
安全にお取扱いいただくために
安全 -24
警告ラベルの貼付け位置
警告ラベルは、危険か所または注意か所に貼付けてあります。
詳細については、“警告ラベルの説明”を参照してください。
貼付け位置は、TCM-X210 を元に記載しています。
Fig.1X25 前面図 1
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