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AHL01J-P 安全にお取扱いいただくために 安全 - 43 0502-002 エアについて 本装置には、空気圧が 0.5 ～ 0.69 MPa (5. 1～ 7 kgf/cm 2 ) で、水分、油分およ び塵埃 ( ダスト ) を含まない空気 ( ドライクリーンエア ) を供給してください。 水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動 作をしなくなるおそれがあります。 ドライクリーンエアとは 水分 ： 露…
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安全にお取扱いいただくために
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z 電気ノイズなどが入らない場所であること。
装置が誤作動しないように、他設備などにノイズ発生防止などの処理を施し
てください。
z 可燃性ガスまたは腐食性ガスが周囲にない場所であること。
z 油煙またはほこりがない場所であること。
z 水準器を使用して、水平に設置できる場所であること。
z メンテナンスしやすいように、周囲に障害物がないこと。
供給電源について
本装置に供給する電源は、以下の容量であることを確認してください。
• 電圧 ： 3 相 AC 200V ± 20V
• 皮相電力 ： TCM-X210: 約 16 kVA
TCM-X110: 約 16 kVA
TCM-X300 : 約 16 kVA
TCM-X110M : 約 14 kVA
電圧が変動したり、電源ラインにノイズが重なる場合、本装置に悪影響を及ぼ
すばかりでなく、装置が誤動作して事故の原因になることがあります。
他設備などにノイズ発生防止などの処置を施してください。
z 一次電源は、貴社にて準備願います。
• 装置の一次電源引き込み部への接続は、はじめに接地ライン(PE)を接続し
てください。
• 接地(PE)は、D 種接地工事(旧第 3 種接地工事)以上としてください。
• 接地ラインは他のケーブル(L1、L2、L3)よりも余裕をもった長さで接続し
てください。
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安全にお取扱いいただくために
安全 -430502-002
エアについて
本装置には、空気圧が 0.5 ～ 0.69 MPa (5.1～7 kgf/cm
2
) で、水分、油分およ
び塵埃 (ダスト) を含まない空気 (ドライクリーンエア) を供給してください。
水分などを多く含むエアを使用すると、装置内部にそれらが付着し、正常な動
作をしなくなるおそれがあります。
ドライクリーンエアとは
水分 ： 露点 -17°C 以下（大気圧）
油分 ： 0.1mg/m
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以下（ANR）
ダスト ： 固形物 0.01µm 以下
データのバックアップについて
装置の故障や誤操作などでデータが使えなくなる場合があります。万一に備え
て、ハードディスクの内容をネットワークターミナル（オプション）に定期的
にバックアップしてください。
コンピュータウィルスについて
プログラムやデータが急に壊れたり、予測できない動作をしたり、操作パネル
に異常な画面が表示されるときは、コンピュータがコンピュータウィルスに感
染した可能性があります。コンピュータウィルスとは、コンピュータに密かに
侵入し、コンピュータを勝手に動かしたり、データを破損する悪質なプログラ
ムのことです。また、そのようなコンピュータウィルスを除去するプログラム
をワクチンプログラムといいます。コンピュータウィルスが感染したコン
ピュータからの通信やコンピュータウイルスに感染した記録媒体を介してコン
ピュータウィルスが感染することがあります。装置内蔵のコンピュータがコン
ピュータウィルスに感染する恐れのある場合は、ワクチンプログラムでチェッ
クしてください。ただし、ワクチンプログラムの種類によって、コンピュータ
のウィルスを取り除くことができないことがあります。このような場合には、
事前にデータのバックアップを必ずとっておいてください。
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安全にお取扱いいただくために
安全 -440502-002
停電について
停電または落雷などによる電源の瞬時電圧低下により、本装置に内蔵されてい
るコンピュータが故障したり、基本ソフトウェア、応用ソフトウェアまたは
データが破損することがあります。電源の瞬時電圧低下対策としては、交流無
停電電源装置などを使用されることをお勧めします。
本装置内蔵のコンピュータについて
本装置には、本装置内部の各機構の制御、各種データの保存、ユーザインター
フェースの実現などのためにコンピュータが内蔵されています。本装置の電源
を切る場合、コンピュータのアクセス動作中に電源が切られると、コンピュー
タが故障したり、記憶されているデータやソフトウェアが破壊されることがあ
ります。本装置の電源を切る方法は、“第 1 編: 操作 (オペレータ) 3 節 1.7 電
源の遮断”をご覧ください。
装置を長時間停止した場合、立上げ時の注意
装置を長時間停止した場合は、装置の立上げをスムーズに行うため、30 分くら
いの慣らし運転を行ってください。
慣らし運転については、“第 2 編: 操作 (スーパーバイザ) 5 節 8. 慣らし運転
の方法”を参照してください。