TR7500_Series_Software_ch-v5-0-0 - 第383页
Test Research Inc. TRI 7500 Series User Gu ide – Software 371 Edge Type – 選取要抓取的邊是上白下黑，還是上黑下白（左右亦同）。 Shift – 位移 量 的門檻值（絕對值）。超過此值為 FAIL ，反之為 PASS 。 如下圖所示，將 [Edge Number] 設為 2 ，可以抓 兩 個邊的中線。而圖中最上面的要抓取 的邊是上…
Test Research Inc.
370 TRI7500SeriesUserGuide–Software
PASS FAIL
參數設定
Group Index – 群組編號。同一元件內有相同編號的視為一組，考慮同一組有可能
跨不同的 FOV，所以使用 Group Index 來連結。舉例來說，如果同一元件內新增六
個 CalDistance 檢測框，那正常狀況下 group Index會自動被設為 1、1、2、2、
3、3。
Edge Number – 邊的個數。如圖中所示只需抓取一個邊，故設為 1。若需抓取兩個
邊的中心值，則設定為 2。
Direction – 抓垂直的邊設為 Vertical，抓水平的邊設為 Horizontal。
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TRI7500SeriesUserGuide–Software 371
Edge Type – 選取要抓取的邊是上白下黑，還是上黑下白（左右亦同）。
Shift – 位移量的門檻值（絕對值）。超過此值為 FAIL，反之為 PASS。
如下圖所示，將[Edge Number]設為 2，可以抓兩個邊的中線。而圖中最上面的要抓取
的邊是上白下黑，所以[Edge Type]設為 Top/Left Bright。此一應用，就可以抓取邊到
邊的距離、邊到縫隙中點的距離、縫隙到縫隙的距離。
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2) Angle
將搜尋邊的有效範圍縮小為約檢測框長邊的十分之一，如圖所示，綠色部分代表框，
紫色部分為搜尋邊的兩有效區域。設定時請讓檢測的邊落入兩紫色區域，才不容易發
生誤判。方法是找出灰階變化最劇烈的地方，如果灰階變化不明顯，可調整
Weighting。
以範例說明檢測框擺放的位置
Good
檢測結果