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1

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(

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:

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I

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2

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Machine

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2

RX

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25

LS

2

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1

下降端確認

NOZZLE

CHANGER

1

LOWER

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CHECK

3

RX

005

25

LS

3

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CHANGER

I

TABLE

SHUTTER

CLOSED

CHECK

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RX

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DOCKING

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RX

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M

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NOZZLE

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I

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-

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1

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2

NOZZLE

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1

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SOL

4

RY

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SY

3220

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-

M

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SMC

NOZZLE

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I

TABLE

SHUTTER

OPEN

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RY

004

SY

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M

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SMC

NOZZLE

CHANGER

I

TABLE

SHUTTER

CLOSE

SMC

12

RY

005

SY

3220

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M

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SOL

6

SMC

NAME

TYPE

配置図

NXT

PARTS

ARRANGEMENT

TITLE

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NOZZLE

CHANGER

DRAWING

No

.

X

RS

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TYPE

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PARTS

ARRANGEMENT

TITLE

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UNIT

DRAWING

No

.

X

RS

0081

1

NAME

TYPE

配置図

NXT

PARTS

ARRANGEMENT

TITLE

XYOK

外

XY

ROBOT

DRAWING

No

.

X

RS

00821