Schmtic_NXT_03_ - 第206页

VACUUM PUMP BOX 2 ^ K - 说 4 M X - 久 ( ：連結 L ^ 使用 1 ^ 場 W h e n u s i n g i t , c o n n e c t i n g 2 M b a s e w i t h 4 M b a s e □ 2 3 : 4 2 M BASE 2 M BASE 4 M BASE N X T ( 2 M ^ - 又 — — 2 M ' — 又 — 4 4 M 八 — 又 …

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M

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4

M

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2

M

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4

M

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1

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K

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,

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M

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M

base

八

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2

N

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NXT

(

2

M

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4

M

BASE

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HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

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direction

RH

1188

米

<

i

CN

28

A

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歎

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NXT

4

M

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RH

2012

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.

2

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1

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27

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27

B

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RH

0527

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F

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28

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28

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F

1

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27

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RH

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RH

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RH

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BRCN

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I

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RH

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Previous

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RH

0258

*

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3

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BRCN

3

fixed

side

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RH

0258

*

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RH

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I

/

O

_

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7

夕汔基板差込

C

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RH

02581

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RH

097

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BLCN

3

出荷時接続済

出荷時接続済

/

'

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1

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-

\

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\

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-

-

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RH

0583

*

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-

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1

I

/

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RH

0583

*

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F

interlock

安全回路

RH

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M

BLCN

4

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RHI

1

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62

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前工程

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RH

1189

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RH

0067

^

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RHI

18

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RH

0067

*

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*

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m

RHI

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RH

0070

*

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8

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.

RH

0070

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.

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'

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-

M

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基板搬送信号

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transfer

B

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CN

-

M

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CN

-

M

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M

RH

0067

*

CN

-

M

2

出荷時接続済

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3

M

connected

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89

X

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0070

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2

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R

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I

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使用

1

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When

using

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M

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with

4

M

base

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3

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M

BASE

2

M

BASE

4

M

BASE

NXT

(

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M

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—

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M

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又

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NXT

(

2

M

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2

M

BASE

<

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>

4

M

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

NXT

4

MX

-

又

NXT

4

M

BASE

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1

-

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^

i

-

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5

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3

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3

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夕

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MS

1

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Inverter

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-

夕

BKT

MS

3

CN

1

Extension

inverter

BKT

RH

2142

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(

-

夕

3

KT

MS

1

CN

1

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B

[

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%

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CN

28

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CN

27

A

CN

28

A

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*

RH

2012

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27

B

CN

27

B

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27

B

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28

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^

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0527

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0528

*

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28

I

/

F

CN

27

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\

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l

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F

CN

27

I

/

F

CN

28

/

\

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I

/

F

0128

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m

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I

/

FI

CN

27

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CH

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1

1

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^

2

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RH

0715

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CN

27

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5

RH

1187

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RH

0558

X

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*

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0559

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0584

*

,

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CN

27

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1698

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*

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RH

0584

X

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RH

1698

t

RH

1698

來

RH

BLCN

2

BRCN

2

BLCN

2

BRCN

2

BRCN

2

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7

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RHI

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*

0

C

7

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>

[

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RH

097

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I

RH

0559

X

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3

出荷時接続済

RH

0258

*

ou

^

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BRCN

3

5 8

*

%

0

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H

0 2

*

BLCN

3

BLCN

3

BRCN

3

RH

0583

*

Previ

fixed

side

097

U

©

I

/

O

_

F

©

connected

RH

0583

*

I

\

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si

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RH

严

1

心夕

-

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RH

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I

/

O

.

F

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C

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6

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/

O

F

m

cable

side

(

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$

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circuit

ILCN

4

iLCN

4

出荷時接続済

connected

RHI

28

M

BHII

63

*

■

:

*

RH

0583

*

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3

(

D

'

D

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RH

0560

*

©

BRCN

3

(

D

R

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3

connect

RH

0

S

6

U

BRCN

3

/

RH

11

B

2

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l

前工程

：

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/

T

Previous

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_

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_

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BKT

CN

-

M

1

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transfer

BKT

RH

0070

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L

RH

118

m

^

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nA

r

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remove

RH

§

070

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,

connect

RHI

189

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RH

0067

I

,

connect

RH

1

I

89

X

RH

0070

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RH

0067

*

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RH

11.89

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Previous

,

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n

^

T

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—

B

.

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panel

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BKT

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Panel

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.

CN

-

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出荷時接済

connected

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RH

0067

末

CN

-

MI

<

T

i

基板搬送信号

B

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i

.

i

CN

-

M

2

基板搬送信号

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iext

P

^

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.

iCN

-

M

2

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<

T

出荷時接続済

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/

—

i

/

—

x

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1

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RH

0067

太

connected

RH

0067

X

出荷時接続済

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RH

0070

*

l

/

-

^

2

-

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2

-

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F

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-

'

^

-

F

-

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1

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F

CN

-

M

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M

2

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-

M

2

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_

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\

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1

-

R

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-

R

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breaker

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-

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circuit

breaker

BKT

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2

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breaker

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B

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H

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M

RH

0562

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f

後工程側

>

(

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後遍

(

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side

)

(

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side

)

side

)

NAME

\

-

又増設

I

/

F

BASE

[

XTENSIQN

1

/

P

TYPE

NXT

TITLE

2

M

^

2

M

^

4

M

DRAWING

No

.

x

2

RL

01780

EXTENSION

4

M

BASE

4

M

BASE

双

4

M

\

-

X

(

:

連結

Lr

使用好場

When

using

it

,

connecting

(

M

base

with

1

M

base

△

n

5

;

6

;

7

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8

NXT

NXT

m

BASE

<

--

>

IM

BASE

)

HARNESS

CONNECTION

PICTURE

基板搬送方向

panel

transfer

direction

CN

28

A

CN

27

A

NXNU

，

RH

2012

*

IN

BASE

#

>

松

-

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4

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/

FS

§

nodule

N

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e

/

2

-

ii

/

5

-

6

module

S

-

6

CN

6

]

/

F

CN

6

;

U

2

Thermo

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2

RH

2133

太

激

2

-

Z

Thermo

fuse

磨

^

八



-

夕

BKT

MS

3

CN

3

Extension

inverter

BKT

-

翊

心

A

-

夕

BKT

MS

1

CN

3

Inverter

BKT

心

/

卜夕

BKT

MS

1

CNI

Inverter

BKT

RH

2130

米

蜜

^

(

-

夕

BKT

MS

3

CN

1

Extension

inverter

BKT

CN

27

B

RH

213

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■

B

0

X

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：

18

controMbox

CN

28

A

CN

27

A

左側面

廿仆



力

A

-

module

left

side

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RH

0527

X

RHI

69

U

^

砂

2

-

湖面

C

廿仆



力

/

卜

module

right

side

cover

RH

0528

*

RH

1692

*

出荷時接続済

I

/

F

CN

27

/

\

to

I

/

F

CN

27

J

/

OR

connected

RH

0259

)

BRCN

1

__

n

rrn

RH

0558

來

四

§

543

找取

y

外

LRH

0559

米妇藤

=

=

/

n

~

o

reiSiive

RH

0543

X

,

connect

RH

0

S

59

?

BLCN

2

BRCN

2

一

[

□

圊

圄口

>

h

-

)

\

A

J

RH

0559

X

L

BRCN

3

S

'

'

\

BLCN

3

fixed

side

to

nodule

4

terminal

connector

[

圆

、

/

/

v

~

r

\

=

D

,

l

1

]

\

/

~

oCZ

^

j

RH

0560

氺

connection

BRCN

3

cable

side

(

XJUl

)

BLCN

4

'

时

前工程

PiiiSlfBKT

previou

panel

transfer

1

CN

-

M

1

；

in

case

of

last

side

I

/

F

2

CN

9

/

\

to

I

/

F

2

CN

9

(

ii

n

in

j

~

s

~

^

<

=

>

1

圓

]

\

"

i

>

=

Xl

rc

=

>

^

~

'

\

[

圓

LC

=

XJ

~

s

/

RH

0987

木

，

中継

cable

to

BKT

RH

007

嶋取亂

RH

123

(

Z

)

^

接耐圣

reiove

mmt

.

conned

RH

123

W

出荷時接続済

connected

RH

0067

*

前工程



1

|

_

搬送畢号

BKJ

IOU

!

panel

transfer

基板準号色

K

xt

panel

transrei

i

!

CN

-

M

2

基板搬痒信号卟

?

xt

panel

transte

i

i

CN

-

M

2

BKT

Prev

:

出荷時接続済

[

¥

1

X

—

—

\

i

—

、

/

哼

:

出荷時接続済

connected

RH

0070

X

connected

RH

12

谢

RH

0067

*

L

/

-

y

2

-

F

LANE

2

-

F

U

-

y

2

-

R

.

ANE

2

-

R

U

-

y

2

-

F

LANE

2

-

F

IN

JN

NC

1

/

-

V

1

A

；

U

-

>

1

-

R

LANE

1

-

R

LANE

1

-

F

il

/

-

V

1

-

R

j

.

ANE

1

-

R

_

_

ANE

DIN

HE

廿

-

牛外

:

?

u

-

力

BKT

2

!

_

circuit

breaker

BKT

2

L

T

i

^

3

B

RH

0562

X

CN

2

t

前遞

\

(

Previous

side

)

t

前工

_

\

(

Previous

side

)

t

後工程側

、

(

Next

side

)

後工程側

NAME

\

-

又増設

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BASE

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TYPE

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TITLE

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増設

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