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100%1 / 210
HEAD
UNIT
HEAD
UNIT
3
1 0
1
3 1 2 3
拡張籠
A
EXTENSION
BOARD
A
拡張議
A
EXTENSION
BOARD
A
3
1
02
3
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(
14
PS
1
)
部品吸着
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D
PART
PICK
-
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D
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14
S
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L
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Y
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CN
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PRESSURE
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D
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B
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SP
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/
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PICK
-
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S
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3
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X
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A
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真空圧檄
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PRESSURE
CHECK
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+
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SP
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Hz
部品吸着
ON
B
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PICK
-
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B
X
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GB
(
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S
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L
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P
53
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GB
D
+
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真空圧檄
OB
3
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X
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PRESSURE
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B
SP
3
/
14
部品吸着
ON
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PART
PICK
-
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GB
(
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S
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L
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真空圧検知
A
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PRESSURE
CHECK
A
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3
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PRESSURE
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BOARD
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LS
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+
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VB
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VB
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VACUUM
PRESSURE
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加圧力検知
B
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PRESSURE
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B
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加圧廳
C
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PRESSURE
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C
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GB
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加圧鳩
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PRESSURE
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HEAD
BOARD
青
BLU
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CND
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HEAD
BOARD
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3
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_
MODULE
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
%
TITLE
「
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UNIT
TYPE
NXT
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UNIT
DMD
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-
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-
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3236
3214
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赤
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ENCODER
灰
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HEAD
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BOARD
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-
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-
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3220
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-
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_
MODULE
CIRCUIT
DIAGRAM
NAME
PAGE
%
TITLE
TYPE
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UNIT
NXT
DRAWING
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C
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UNIT
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DIAGRAM
NAME
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