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预防性维护 HF 维护 2003 年 3 月版 4 维护计划 17 4 4 段位器光栅盘 检查切换圈 清除长真空孔中的所有脏物 1.4 mm 的金属钻头 清除横向真空孔中的所有脏物 1.1 mm 的金属钻头 清洁段位器光栅盘虹吸盘 无纺布 清洁摩擦轮 无水乙醇，无纺布 清洁增量盘 无水乙醇，无纺布 清洁段位器光栅盘轴 无水乙醇，无纺布 带球状固定装置的段位器光栅盘 清洁球状收集盘边缘 无水乙醇，脱脂棉签 检查封料带 清洁槽 无水乙醇，脱…
维护 预防性维护 HF
4 维护计划 2003 年 3 月版
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年 润滑 X 和 Y 轴的悬臂 黄油枪，
Klüberplex BEM 34-132
检查保护罩 如有必要，使用新阻尼管
更换跟踪线缆的冷却管 冷却管
间隔 部位 设备 / 备件 完成时间
（日期）
预防性维护 HF 维护
2003 年 3 月版 4 维护计划
17
4
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段位器光栅盘
检查切换圈
清除长真空孔中的所有脏物 1.4 mm 的金属钻头
清除横向真空孔中的所有脏物 1.1 mm 的金属钻头
清洁段位器光栅盘虹吸盘 无纺布
清洁摩擦轮 无水乙醇，无纺布
清洁增量盘 无水乙醇，无纺布
清洁段位器光栅盘轴 无水乙醇，无纺布
带球状固定装置的段位器光栅盘
清洁球状收集盘边缘 无水乙醇，脱脂棉签
检查封料带
清洁槽 无水乙醇，脱脂棉签
标准段位器光栅盘
检查 O 形圈
清洁快速安装 O 形圈 无纺布
润滑快速安装 O 形圈
Unisilkon L250L
阀门推杆
擦干阀门推杆 无纺布
检查 O 形圈和密封圈
少量润滑阀门推杆
ISOFLEX TOPAS NCA 52
维护 预防性维护 HF
5 每日维护 2003 年 3 月版
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5 每日维护
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